УСТАНОВКА ПРОЕКЦИОННОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ
(54) ЛИТОГРАФИИ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Установка проекционной электронной литографии | 1977 |
|
SU716018A1 |
| СПОСОБ ЭЛЕКТРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ | 2011 |
|
RU2462784C1 |
| УСТРОЙСТВО ПРОЕКЦИОННОЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ЛИТОГРАФИИ | 2001 |
|
RU2183040C1 |
| СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЛИТОГРАФИИ | 2007 |
|
RU2344453C1 |
| СИСТЕМА ДЛЯ МАГНИТНОГО ЭКРАНИРОВАНИЯ | 2012 |
|
RU2558646C2 |
| БИНАРНЫЙ КОСМИЧЕСКИЙ АППАРАТ ДЛЯ ПОИСКА И СБОРА ВНЕЗЕМНЫХ ОБЪЕКТОВ СО СВОЙСТВАМИ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК И АПКОНВЕРТИРУЮЩИХ НАНОЧАСТИЦ В ОКРЕСТНОСТЯХ ТОЧЕК ЛИБРАЦИИ | 2020 |
|
RU2749431C1 |
| Устройство для высокоскоростной высокочувствительной регистрации рентгенографических изображений с дискриминацией вторичного рассеянного излучения | 2021 |
|
RU2754112C1 |
| КАТОДНОЕ УСТРОЙСТВО, ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА И УСТАНОВКА ЛИТОГРАФИИ, СОДЕРЖАЩАЯ ТАКУЮ ЭЛЕКТРОННУЮ ПУШКУ | 2014 |
|
RU2689391C2 |
| Адаптивный рефлектор | 1985 |
|
SU1684166A1 |
| СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ СВЧ ДИАПАЗОНА | 2015 |
|
RU2611574C2 |
Изобретение относится к технологии по лупроводниковых приборов. Известна установка проекционной электронной литографии, содержащая ультрафиолетовый источник, электрод с фотокатодом электрод с подложкой, систему электрома нитных катушек и высоковольтньш источник питания. Недостатком ее является недостаточная точность контроля дозы электронов, эмитированных с фотокатода на подложку, вследствие того, что время экспонирования при одном и том же фотокатоде может меняться от нескольких секунд до не кольких минут из-за резких изменений интенсивности электронной эмиссии с фотокатода. Целью изобретения является повышение точности контроля дозы электронов, эмитированных с фотокатода на подложку. Это достигается тем, что установка снабжена цифровым дозирующим интегратором электронного типа и датчиком тока, причем последние соединены меж.цу собой параллельно, вкючены на вход цифрового дозирующего интегратора и размещены в теле электрода с подложкой на пути потока электронов с фотокатода. На фиг. 1 изображена схема проекционной системы установки; на фиг. 2 взаимное расположение фотокатода, подложки и четырех датчиков тока. Установка содержит ультрафиолетовый источник 1, фотокатод 2, закрепленный на электроде 3, электрод с подложкой 4, системы электромагнитных катушек 5 и высоковольтный источник питания 6, а также цифровой дозирующий интегратор 7 электронного типа, и датчики тока 8, причем последние соединены между собой параллельно, включены на вход ци4рового дозирующего интегратора 7 и размещены в теле электрода 9 с подложкой 4. Установка работает следующим образом.
Под действием света ультрафиолетового источника 1 электроны эмитируют с поверхности фотокатода 2, ускоряются под действием электрического потенциала, приложенного между катодом 2 и подложкой 4 от высоковольтного источника питания 6, и фокусируются на подложке 4 однородным магнитным полем, созданным системой электромагнитных катушек 5.
При достижении на подложке 4 дозы электронов, обеспечивающей нормальное экспонирование электроно-резистивного слоя, интегратор 7 выключает высоковольтный источник питания 6, прекращая процесс экспонирования.
Формула изобретения
Установка проекционной электронной литографии, содержащая ультрафиолетовый источник, электрод с фотокатодом, электрод с подложкой, систему электромагнитных катушек и высоковольтный источник питания, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности контроля дозы электронов, эмитированных с фотокатода на-подложку, она снабжена цифровым дозирующим интегратором электронного типа и датчиками тока, причем последние соединены между собой параллельно, включены на вход цифрового дозирующего интегратора и размещены в теле электрода с подложкой на пути потока электронов с фотокатода.
А
Фиг.1
