Установка проекционной электронной литографии Советский патент 1980 года по МПК G03G17/00 

Изобретение относится к проекци.Ьнной электрс1нной литографии.

Из основного авт. св. W 543915 известна установка проекционной электронной литографии, содержащая , ультрафиолетовый источник, электрод с фотокатодом, электрод с подлож.кой систему электромагнитных катушек и вБсоковольтный источник питания, а также цифровой дозирующий интегратор электронного типа и тока, причем последние соединены между собой параллельно, включены на вход цифрового дозирующего интегЕ тора.и размещены в теле электрода с подложкой на пути потока электронов с фотокатода.

На этой установке экспонируются фотошаблоны с размерами 62,5x62,5мм и 70x70 мм, имеющими рабочее поле до 50x50 с минимальным размером рисунка 1 мкм.

Однако,данная установкаимеет следукщие недостатки: уход установленного значения магнитного поля, вследствие изменения геометрических размеров электромагнитных катушек из-за их разогрева; изменение магнитного поля в рабочем объеме

,;за счет влияния внешних магнитных 1пзлей; отсутствие объективного контроля величины магнитного по.пя в рабочей зоне в процессе экспонирования. .

Эти недостатки приводят к расфокусировке изображения на фотошаблонах и, как следствие, к низкому процеиту выхода годных фотошабло-.

O нов ,

Цель изобретения - повышеште выхода качественной продукции за счет у.пучшения фокусировки электронного изображения.

5

. Это достигается тем, что установка проекционной электронной литографии имеет сис.тему регулирования параметров магнитного поля электромагнитных катушек с датчиком ядерного

0 магнитного резонанса. .

Резонансная частота- поглощения датчика соответствует измеряемрму магнитному полю. Изменение магнитного поля от его установленного зна5чения приводит к изменению резонансной частоты.поглощения датчика. Система регулирования параметров магнитного поля электромагнитных катушек с датчиком ядерного магнитного

0