Интерференционный способ контроля плоскопараллельности концевых мер длины Советский патент 1977 года по МПК G01B9/02 

7 00 светодел.ительными локрыхиями, .нанесенными но всей площади пластин, смещены отноС(Итсльно оптпческой оси интерферометра. Это позволяет осветить обе измерительные поверхности меры и получить три интерференциоиные картины: две - в зазорах между измсрИтельными поверхностями м€р и отражающими поверхностями интерференционных зерхал .и одну - в промежутке между интерференционными зеркалами.

К0нтр|0ль плоскоиараллельности производится следующим образом.

Между интерференционными зеркалами 6 и 7 .помещают контролируемую меру 8. В направленли линии измерения устанавливают инте1рфере,нционные зеркала параллельно между собой, а одну из измерительных -поверхностей контролируемой меры - параллельно противолежащей поверхности зеркала. Для этого в хад лучей вводят отрицательную лин:зу и наклона-ми одного из зеркал ,и меры совмещают наблюдаемые в поле зрения много;кратные изображения входных зрачков.

Отводят отрицательную линзу и в поле зрения наблюдают три с (разным наклоном и щириной системы интерференционных полос.

При контроле параллельности меры вдоль корот.кОГО ребра наклонами одного йз интерференционных зеркал устанавливают полосы на пластине параллельно .короткому ребру меры. Затем на.клоиалш меры устанавливают полосы на одной из поверхностей меры параллельно короткому ребру, а ло н.аклону полос на другой поверхности меры определяют непараллельность меры в данном направлеНИИ. Величину ненараллельности определяют в долях ИНтер-ференционной полосы.

По изгибу полос определяют неплоскостность контролируемых поверхностей концевой меры.

При контроле параллельности меры вдоль длинного ребра установка полос производится параллельно длинному ребру.

Таким образом, предлагаемый способ .позволяет осуществить контроль плоскопараллельности коицевых мер без применения образцовых мер, что позволяет повысить точность измерения и снизить себестоимость способа.

Формула изобретения

-Интерференционный способ .контроля плоскоиараллельн-ости концевых мер длины, заключарощийся в том, что интерференционные зеркала устанавливают параллельно одно другому, помещают между ними .меру, наблюдают интерференционные .картины .и по ср.авнению интер ференционных картин онределяют велич-ину плоско.параллельно-сти .поверхностей меры, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повыщения точности измерения, наблюдают интерференционные картины между отражающими поверхностял-ш интер ферен-ционных зеркал и в зазорах между каждым из зеркал и контролируемыми поверхностями меры и сравнивают эти интер-ференциопные картины.

Источники .и-нформацип, пр-инятые во внимаки-.г при экспертизе:

1.Vogl G. Microtechnic, V.Xn., No 1, 1958 г.

2.Авторское свидетельство Л 149228; G 01 В 9/02, 1962 г.