Источник ионов Советский патент 1981 года по МПК H01J3/04 

(54) источник ионов

1

Изобретение относится к конструкциям источников ионов и.может быть использовано в ускорительной технике ионнолучевой технологии и экспериментальной физике.

Известен источник ионов газомагнетронного типа ij , в котором ион(зация происходит в скрещенных Е х Нполях.

Основным недостатком этого источника ионов является низкая плотность тока.

Наиболее близким к предложенному является источник ионов 2, содержащий магнитную катушку., корпус в виде цилиндра, служащий извлекающим электродом, соосные с корпусом анод и катод. Этот источник ионов обеспечивает получение достаточно больших токов, но имеет сложную конструкцию.

Целью изобретения является упрощение конструкции источника.

Эта цель достигается тем, что магнитная катушка выполнена в виде проволочной спирали, шаг намотки которой превышает диаметр проволоки.Спираль расположена между анодом и внутренней стенкой корпуса.

На-чертеже показан источник ионов .отпаянный вариант.

Источник ионов содержит анод 1, магнитную катушку 2, корпус 3, токоподвод 4, изоляторы 5, токоподвод б и вводы 7.

Магнитная катушка выполненная в виде спирали, используется в источнике как катод разрядной ступени. Источник заполнен рабочим газом и герметизирован.

0

Работает источник ионов следующим образом.

Между анодом и корпусом источника, а также между спиралью и анодом по5дают напряжение. Кроме того, по катушке пропускают ток для создания необходимого магнитного поля и нагрева спирали до температур, достаточных для возникновения заметного тер0моэлектронного тока. Между спиралью и анодом зажигается разряд и происходит ионизация рабочего вещества. Образовавшиеся ионы вытягиваются из

5 разрядного промежутка и ускоряются к корпусу.

Описанный источник ионов эффективнее известных, кроме того, он проще

0 по конструкции.

формула изобретения

Источник ионов, содержащий магнитную катушку, корпус, являющийся извлекающим электродом, выполненный в виде цилиндра, соосные с корпусом анод и катод, отличающийс я .тем, что, с целью упрощения конструкции источника, магнитная катушка выполнена в виде спирали из проволоки с шагом намотки, превышающим диаметр проволоки, и расположена между анодом и внутренней стенкой корпуса.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Nuclear Instruments and Меthoods, V.24, п. 358, 1963,

2. Материалы И-ой Всесоюзной кок ференции по плазменным ускорителям, Минск, стр. 134-135, 1973.