Держатель для полупроводниковых пластин Советский патент 1977 года по МПК H01L21/68 

Изобретение относится к оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем и может применяться для транспортировки и крепления полупровод}шковых пластин при выполнении технологических операций. Известен держатель для пластин, содержащий корпус с направляющими и окном, а также прижимные упругие элементы 1. Известный держатель не предохраняет пластины от соприкосновения с их рабочими поверхностями. Кроме того, установка и извлечение полупроводниковых пластин в известньш держатель может привести к поломке хрупких полупроводниковых пластин, а также быстрому износу направляющих и упругих элементов держателя. Известен также держатель для полупроводниковых пластин, содержащий корпус с вогнутой опорной поверхностью и прижимные элементы 12). Полупроводниковая пластина, уложенная в гаездо, контактирует с вогнутой поверхностью гнезда только своими краями. Каждый прижимной элемент вьшолнен в виде вогнутой пластины или в виде усеченного конуса, причем его обращенная к полупроводниковой пластине сторона контактирует с центральной частью нерабочей стороны пластины, обеспечивая ее фиксацию. Известный держатель предназначен для хранения и транспортировки полупроводниковых пластин и не обеспечивает свободный доступ к поверхностям пластины, подлежащим технологической обработке например при сверлении сквозных отверстий лазерным . Кроме того, в известном держателе невозможно осуществить ориентацию базового среза пластщ1ы по отношению к поверхности гнезда и укладку пластины с произвольным расположением ее рабочей поверхности, так как в известном держателе рабочая сторона полупроводниковой пластины должна бьггь обязательно обращена вниз, к дну гнезда. Цель изобретения - расщирение технологических возможностей держателя. Для этого прижимные эелел«нты вьшолнены в виде направленных навстречу друг другу упругих вогнутых краем пластины. На фиг. 1 - общий вид держателя с полупроводниковой пластиной; на фиг. 2 - разрез А-А. Держатель для полупроводниковых пластин содержит корпус 1 с направляющими 2 и окном-3, над которым от направляющих отходят направлен