Устройство визуализации объекта в электронном микроскопе Советский патент 1977 года по МПК H01J37/28 

полнено на однолучевой цветной электроннолучевой трубке с .непрерывной Структурой экрана, а амплйтудный дискриминатор и усилитель, соединенный с источником ускор|яющего нанряжения, включены между управляющим и ускоряющим электродами трубки.

На чертеже показано предлагаемое устройство.

Источник электронов 1 создает нучок электранов. Фокусирующая система 2 формирует электронный зонд 3, который иод действием отклоняющей системы 4 сканирует по исследуемому объекту 5. Детектор излучения 6 преобразует сигаал от вторичных электронов, излучаемых микроучаСТ1Ком исследуемого объекта, в видеасигнал, который усиливается усилителем видеосигнала 7 и подается на управляющий электрод ЭЛТ 8 для уп ра1вления интенсивностью сканирующего под действием от1 :лоняющей системы 9 луча и на амплитудный дискриминатор 10. Амплитудный дискриминатор 10 квантует видеосигнал «а уровни, Каждому из которых соответствует определенный цвет свечения ЭЛТ 8. Выходной сигнал амплитудного дискриминатора 10 управляет усилитеЛем 11, питающимся от источника ускоряющего напряжения 12. Устройство включает также генератор отклонения пучков 13. Сигнал с выхода усилителя 11 изменяет потенциал на ускоряющем электроде ЭЛТ 8, что, в свою очередь, изменяет цвет свечения экрана ЭЛТ.

Таким образом, видеосигнал, полученный из потенциального рельефа исследуемого образца, разбивается по амплитуде на ряд дискретных уровней и каждый из этих уровней изображается на экране ЭЛТ определенным цветам. Изменение амплитуды видеосигнала.

соответствующего какой-либо точке образца, в пределах определенного уровня амплитуды будет изменять яркость соответ1СТ1вующей точки экрана, при этом цвет данной точки ЭКрана будет определяться уровнем видеосигнала. Предлагаемое устройство позвоЛЯет повысить временную разрешающую способность с сохранением .высокой разрешающей способности по контрастности, что дает возадожность более точно различать структуру исследуемого объекта и исключить ошибки при анализе контрастности изображения.

Формула изобретения

Устройство визуализации объекта в электронном микроскопе, Содержащее детектор излучения, зсилитель видеосигнала, видеоконтрольное устройство с цветным кодированибм потенциального рельефа и источник ускоряющего напряжения, отличающийся там, что, с целью повышения разрещающей способности и устранения неоднозначности цветового кода, Видеоконтрольное устройство

выполнено на однолучевой цветной электронно-лучевой трубке с непрерывной структурой экрана, а амплитудный дискриминатор и усилитель, соединенный с источником ускоряющего напряжения, включены между управляющим и ускоряющим электродами трубки.

Источники информации, принятые во внимание при эконертиве

1.Проспект ф|ирмы Cambridge Scientific. Instruments Ltd на растровый электронный микроскоп «Stereoscau S4.

2.Патент США № 3628014, кл. 250-49.5, опублик. 22.12.1969 (прототип).