Видеоконтрольное устройство для растрового электронного микроскопа Советский патент 1984 года по МПК H01J37/28 

L.J J

«-- ff- Изобретение относится к электрон НС-оптическому приборостроению, в частности к устройствам визуализации изображения в электронных микро скопах со сканируницим лучом. Известно видеоконтрольное устрой ство (ВКУ). содержащее детектор излугения, усилитель, блок разверток, блок цветокодирования и .цветную (однслучевую) электронно-лучевую трубку (ЭЖ) l . Однако сложность схемного решения и малое быстродействие устройст ва (вследствие недостаточной скорост переключения цветов) снижают цйетовую четкость изображения исследуемого объекта. Наиболее близким техническим решением к изобретению является ВКУ д растрового электронного микроскопа (РЭМ), содержащее последовательно соединенные детектор излучения, ввд . усилитель, блок цветокодирования и .цветную ЭЛТ, включающую модуляторы него, зеленого и красного лучей, а также блок развертки. Блок цветокол рования содержит сумматор, пороговые элементы и две схемы совпадения 21 . Данное устройство обеспечивает 6 .лее вьюокое быстродействие коммутац цвета ЭЛТ. Недостатками указанного устройства являются также сложность схемного решения (наличие большого коли чества коммутационных и других уст.ройств) и недостаточное быстродействие (ниже телевизионного стандарта разложения). Кроме того, в Нем количество дополнительных цветов в изображениг на экране ЭЛТ ограничено числом уровней квантования,что снижает информативность цветового изображения и делает изменение цветовой гаммы дискретньм (скачкообраз ным) . Цель изобретения - повьшение инф мативности при упрощении конструкци Указанная цель достигается тем. что в ВКУ для РЭМ, содержащем после- 50

довательно соединенные детектор излучения, видеоусилитель, блок цветокодирования и цветную ЭЛТ, включакнцую модуляторы синего, зеленого и красного лучей, а также блок развертки блок цветокодирования содержит инвертор и коммутатор, при этсм выход видеоусилителя соединен с входом интонов удается вьщелять по цвету наиболее тонкие структурные неоднородности объекта, так как глаз чувствителен к, малйшим изменениям цвета и особенно к цветовому, контрасту. Изменение полярности видеосигнала с помощью инвертора 5 н коммутатора 6 позволяет значительно увеличить конвертора, первым входом коммутатора и модулятором синего луча трубки, выход инвертора соединен с вторым входом коммутатора и модулятором зеленого луча, а выход коммутатора соединен с модулятором красного луча. На чертеже представлена схема предлагае1 эго устройства. Схема содержит последовательно соединенные детектор 1 излучения, видеоусилитель 2, блок 3 цветокодирования и цветную ЭЛТ 4. Блок 3 цветокодирования состоит из инвертора 5 и коммутатора 6. С РЭМ и ЭЛТ связан блок 7 развёртки. ЭЛТ 4 включает модуляторы красного 8, зеленого 9 и синего 10 лучей. Устройство работает следующим образом. Сигнал с исследуемого объекта, преобразованный детектором 1 излучения в электрический сигнал, .поступает на. вход видеоусилителя 2, усиливается им до величины, необходимой для модуляции электронного луча ЭЛТ, и подается на модулятор 10 синего луча ЭЛТ. Одновременно с выхода видеоусилителя 2 сигнал Поступает на вход инвер- ™Р который изменяет фазу сигнала на 180 относительно входного сигнала. С выхода инвертора 5 сигнал подается на модулятор 8 красного лу-ча ЭЛТ. Модулятор 9 зеленого луча с помощью коммутатора 6 подключается либо к выходу видеоусилителя 2, либо к выходу инвертора 5 для модуляции зеленого луча прямым или инвертированным на противоположную полярность сигналом для изменения цветовой окраски изображения на экране ЭЛТ 4. В результате совместной работы электронных прожекторов синего и красного лучей модулированных по яркости прямым и обратным видеосигналами, на экране ЭЛТ происходит смещивание этих основных цветов с плавным переходом от синего к красному через всю гамму полутонов в зависимости от вклада величины прямого и обратного видеосигналов. За счет плавного перехода полу31127024.4

траст выделяемых деталей изображения. Таким образом, предлагаемое устпутем смены цветового контраста. Приройство позволяет повысить информаэтом удается выделять мелкие и нераз-тивность изображения объекта за счет

личимие на черно-белом изображенииповышения контраста его даталей при

детали изображения образца, так как $одновременном упрощении схемы устцветовой контраст деталей.изображе-ройства за счет исключения большого

ния резко изменяется, и глаз легкочисла коммутирующих устройств в блообнаруживает этот контраст, даже ее-ке цветокодирования. ли полутон исследуемой детали изображения мало отличается от фона. Это to ВКУ мсикет быть использовано в устпроисходит потому, что,например, ее-ройствах визуализации изображения в

ли на сияем фоне ввдна голубая по-электронных микроскопах со сканируюлоска, то после переключения видео- щим лучом, где оно позволяет за счетсигнала от инвертора в другой цвето-повышения информативности изображения

вой канал, эта полоска станет темно- 15повысить качество и информативность

желтой на желто фане и т.д. .исследования объектов в РЭМ.

ВВДЕОКОНТРОПЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА, содержащее последовательно сое- да1ненные детектор излучения, видеоусилитель, блок цветокодирования и цветную электронно-лучевую трубку, включающую модуляторы синего, зеленого и красного лучей, а также блок развертки, oтличaюв(eecJR тем, что, с целью повышения информативности при упрощении конструкции, блок цветокодирования содержит инвертор и коммутатор, при этом выход видеоусилителя соединен с входом инвертора, первьм входо } коммутатора и модулятором синего луча трубки, выход инвертора соединен с вторым входом коммутатора и модулятором зеленого луча, а выход коммутатора соединен с модулятором красного луча.