Интерферометр работает следующим образом.
Световш пучок от лазера расишряется ли ЗОЙ, коллимируется объективом и направляется на частично отражающие зеркала 4, 5 и исслед} &мую неоднородность 6, световые пучки разной
кратности просйечивания фокусируются объективом 7 и далее один из пучков вьзделяется диафрагмой
8.Световой пучок, коллимированный объективом
9,направляется на дифракодонную решетку 10, установленную с возможностью перемещения в на правлении оптической оси. Пара световых пучков любых порядков дафракщш вьзделяется пр.острансгвенным фильтром 12 и объективом 13 направлят ется в плоскость регистрирующей системы 14,
где формируется изображение объекта. В результате взаимодействия вьзделешюй пары световых пуч ков регистрируется голограмма сдвига, величина которого определяется положением и частотой дифракционной решетки, параметрами объективов 7, 9, 11, 13, а также порядксмл дифракции интерферирующих световых пучков.
В итерферометре возможно использование ио точкика частично когерентного света.
Изобретение позволяет повышать, чувствительносп и качество получаемых картин за счет одина ковой интенсивности опорного и сигнального световых лучей, достигаемой выбором волн соответствуюших порядасов дафракцин на решетке. Кроме того, интерферометр улучшает виброустойчивость отстемы за счет одноосевой схемы.
При помощи диафрагмы 8, дифракционной ре шетки 10; и пространственного фильтра 12-обео
1ючийается изменение чувствительности измерений в широком диапазоне.
Формула изобретения
Голографический интерферометр, содержащий источник излучения, расширитель светсжого штока, коллиматор, систему для просвечивания объекта, например, из двух частично отражающих плоских зеркал, установленных под углом друг к другу, фокусирующий объекгш, диафрагму для вьщеления световых пучков в выбранньис порядках отражения,, дифракционную решетку и регистрирун щую систему, отличающийся тем, что, с целью повышения качества интерферограмм, между диафрагмой 1 регистрирующей шстемой расположены два объектова и лросгранственкый фильтр, причем передняя фокальная плоскость одного из объективов совмещена с задаей фокальной плоскостъю фокусирующего объектива, пространственный фильтр расположен в задней фепсальной плоскости второго объектава, а дифракционная решетка - между объективами с возможностью перемещения вдоль ошической оси (.
Источники информаш1И, принятые во внимашге при зкспергазе:
l. F. и.о. i,Muetip e-Pass Nouб-iffuse HoEocTfaptitc jhterleromet t S-nEEE- 3. 9TO,CjE-6, rffi. p 412. Патент США № 3829219, кл. 356-107 {G 01 В 9/021), 1974.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Интерферометр сдвига с синтезирован-НыМ ОпОРНыМ пучКОМ | 1979 |
|
SU811071A1 |
Устройство для получения цветных теневых картин | 1977 |
|
SU624191A1 |
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП | 2013 |
|
RU2527316C1 |
Дифракционный интерферометр | 1989 |
|
SU1818547A1 |
СПОСОБ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ | 2013 |
|
RU2536764C1 |
Устройство для измерения углового перемещения объекта | 1981 |
|
SU958852A1 |
ФАЗОВО-ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МОДУЛЬ | 2013 |
|
RU2539747C1 |
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ | 2001 |
|
RU2186336C1 |
ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР | 2002 |
|
RU2209389C1 |
МНОГОКАНАЛЬНЫЙ КОНФОКАЛЬНЫЙ СПЕКТРОАНАЛИЗАТОР ИЗОБРАЖЕНИЙ | 2019 |
|
RU2723890C1 |
Авторы
Даты
1978-06-05—Публикация
1975-07-07—Подача