Диффузионный дозатор Советский патент 1977 года по МПК G01F13/00 

I

Иэо етение относится к дознрованшо материалов и может применяться в технол« гических процессах производства ннтеграль них схем, химической промышленности.

Известны дозаторы, содержащие нспар тельную Н смесительную камеры, штвуб подвода и отвода гаэа носителя Ij,l2j, Наиболее близким по технической сущнооти к предложенному является дозатор, содержащий термостатируемый корпус с иопарительной и смесительной камерами, со единенными диффузионным сопротивлением, патрубки подвода и отвода газоносителя и cHCTiBMy управпенияГзЛ

Недостатком йзвестйого дозатора авл ются малая точность и нестабильность работы, связанные с тем, что перед включением дозатора на стенках испарительной к смесительной камер образуется .конденсат Дозируемого вешества. Испарение конде сата приводит к увеличенному и нестабильному расходу дозируемого вещества в начальный период дозирования. Начальный пик .расходной характеристики может длить ся в известном устройстве десятки минут,

что аатрудняет использование устройства особенно в процессах дозирования, небольшую длительность.

Цель изобретения - повышение точности и стабильности работы.

Эта цель достигается тем, что дозатор снабжен термостатированным клапаном, установленным в смесительной камере на выходе испарительной камеры и связанным с системой управления.

На чертеже показано предлагаемое устройство,

Устройство содержит клапан 1, нагреватель 2, резьбовую пробку 3, мембрану 4, штуцеры 5, теш1оизолянионну о прокладку 6, испарительную камеру 7 с дозируемым : веществом 8, термосонротивление 9, электроразъем. 1О, нагреватель 11,. }эадиатор 12, кожух 13, теплоизоляцио}П)ый корпус 14, . втулку 15, фланец 16,крышку 1 7, смосигепьную камеру 18, блок 19, стабилизации температуры,блок управления 20 и блок питания 21.

Теплоизоляционный корпус 14 с прокладкой 6 служит для устранения влияния температуры окрзокаюшей среды на продух; вопаретш дозируемого вещества. Нужная теь пература в испарительной камере 7 уставав пивается при помощи нагревателя,.11 и ради тора 12. Последний охватывает весь .g метр камеры 7, Контроль за температурой ocymecTBnsieTCfl с помощью термосощзотивлеввй 9. Фланед 16 и втулка 15 спуяшг для удобства заливки дозвруемого ва в камеру 7«10

Отбывание и закрыванне диффузиоввога сопротивления {фриэвод ся клапаном 1. На пробке 3 клапана у тавовшн нагреватель 2, .который задает поШ)1шеш1ую по о-шошв вию к испарителыюй камере температуры, tg что исключает конденсаашо паров адзЕруемоГ вещества на запорном органе влапапа.

При вк/1юченин дозатора при помощи блока управление 20 а&ц&етсв, напряжение с блока питания 31 йа 1шайай |1. При этом зв клапан оо ывается и )11Сгходит подача irapOB дозируемого в смесительную камеру 1в« При снетии с клапана аапряженЕШ ка м&ры 7 и 1в pa t tsBOTce им.

Во время работы дозатора щзоизводится 2S tfioStoeHHafl по( гвваооноситепа в сме сительиую меру 18, что еяачнтельно ут

рЪщает схему дозатора, так как отпадает необходимость в системе клапанов, обеспечивающих коммутацию газа-носителя.

Формула изобретения

Диффузионный дозатор, содержащий термостатируемый корпус с испарительной и смирительной камерами, соединсвными диффузионным сопротивлением, патрубки подвода и отвода газа нр ителя в управления, отличающийся тем, tro, с tii&abfo п()йшвив№ля точности и стабилшосТйработы овеет ор снабжен термостатироваввым ш1«жа8ом, установленным в смесительное Kditqpe на выходе испарвтельной камеры и связанным с системой управления.

Источники информации, Щ}инятые во вн мание при экспертизе:

1.Патент США № 351О369 кл 222-211

1969.;

2.Патет1т Японии J 49-22781 in. 99 (Б) 15, 1965.

3.Авторское свидетельство № 231148, кл. Q 01 Р 13/ОО, 1968.