Устройство для контроля температуры Советский патент 1978 года по МПК G01K7/00 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТЕМПЕРАТУРЫ Блок-схема описываемого устройства приведена на чертеже. Устройство для контроля температуры содержит термопреобразователи 1, 2, 3, сумматоры 4, 5, ,6, коммутатор 7, вторичный преобразователь 8, вычислительное устройство 9, счетчики 10, И, 12 машинного времени, дополнительный коммутатор 13, промежуточный преобразователь 14. Устройство работает следующим образом. После включения термопреобразователей 1, 2, 3 счетчики машинного времени устанавливаются в исходное состояние. Коммутатор 7 производит поочередную подачу выходных сигналов термопреобразователей 1, .2, 3, соответствуюших действительным значениям контролируемых температур, на вход вторичного преобразователя 8. Преобразованное значение поступает на вычислительное устройство 9, в памяти которого заложены статистические данные об изменениях градуировочных характеристик соответствующих термопреобразователей под дейст.вием высоких температур и времени эксплуатации в реальных условиях, а также требуемая точность контроля температур. По измеренным действительным значениям температур и заложенным данным в памяти вычислительное устройство 9 определяет интервалы времени, по истечении которых осушествляется подача компенсирующего сигнала на входы соответствующих сумматоров 4, 5, 6. Время эксплуатации каждого термопреобразователя определяется соответствующим счетчиком времени 10, 11, 12, подключение кото рого к входу промежуточного преобразователя 14 осуществляется коммутатором 13 одновременно с подключением сигнала с соответствующего сумматора 4, 5, 6 коммутатором 7 на вход вторичного преобразователя 8. Выходной . сигнал промежуточного преобразователя 14 поступает на вход вычислительного устройства 9 и определяет моменты формирования компенсирующего сигнала, зависящего от требуемой точности контроля температур. Использование предложенного устройства для контроля температур в технологических процессах, например изготовления интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, дает значительный технико-экономический эффект в связи с повыщением точности контроля температур и, в результате, улучшением воспроизводимости параметров приборов, а также уменьшением брака. Формула изобретения Устройство для контроля температуры, содержащее термопреобразователи, коммутатор, подключенный к входу вторичного преобразователя, выход которого подключен к входу вычислительного устройства, отличающееся тем, что,, с целью повышения точности измерения за счет автоматической компенсации погрешности, обусловленной дрейфом градуировочной характеристики термопреобразователей, в устройство введены счетчики времени эксплуатации термопреобразователей, дополнительный коммутатор, промежуточньш преобразователь, сумматоры, причем термопреобразователи подключены к коммутатору через сумматоры, а счетчики времени эксплуатации через дополнительный коммутатор и промежуточный преобразователь подключены ко второму входу вычислительного устройства, выходы которого подключены ко вторым входам сумматоров. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 352152, кл. G 01 К 7/02, 1971. 2.Херт, Рикерс. Мини-ЭВМ в системе измерения температуры периодическим опросом датчиков. «Электроника, 1973, т. 46, № 24, с. 54, рис. 4.

Т