Полупроводниковый датчик давления Советский патент 1978 года по МПК G01L9/04 

Напряжение, пропорциональное разности температ фы баланса и темнературы мембраны, с выхода терморезистивного моста поступает на вход усилителя 7 сигнала температуры. Нагрузкой выходного каскада усилителя является сопротивление корпуса датчика. Ток, протекая по корпусу, нагревает его, и при этом температура мембраны приближается к температуре стабилизации. Величина этого тока в установившемся режиме определяется скоростью теплообмена корпуса с окружающей средой н коэффициентом Зсиления усилителя сигнала температуры.

Нолупроводниковые терморезисторы, включенные в противоположные плечи терморезистивного моста, размещаются на мембране таким образом, чтобы обеспечить нечувствительность их к деформации.

Балансировка терморезистивного моста производится нри температуре мембраны, равной температуре стабилизации, подстройкой пленочных резисторов.

Равномерность плотности тока через вакуумную ячейку обеспечивается формой омических контактов, представляющих собой металлические пленочные полоски, расположенные по днаметрально противоположным сторонам мембраны.

Использование предлагаемого датчика но сравнению с существующими обеспечит повыщение точности измерения в 2-3 раза за счет уменьшения температурной погрешности

измерения; увеличение выходного напряжения с тензомоста из-за отсутствия последовательно соединенной с тензомостом цени температурной компенсации и существенное упрощение технологии изготовления датчика

за счет упрощения электрической схемы, сокращения технологического цикла и снижения трудоемкости настройки прибора.

Формула изобретения

Полупроводниковый датчик давления, содержащий корпус, тензорезистивный мост, сформированный на мембране, термокомпенсатор и усилитель, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, термокомпенсатор выполнен в виде терморезистивного моста, расположен на мембране и через усилитель подключен к корпусу.

Источиики информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент ФРГ 1067240, кл. 42 к 7/05, 1968.

2.Патент США № 3836796, кл. 73-398, 1975.