Светопоглощающее покрытие Советский патент 1978 года по МПК C03C17/30 

(54) СВЕТОПОГЛОШАЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ

Изобретение относится к прикладной оптике, а имевшо к светопорлоа ающему покрытию,,

Известно светопоглощающее покрытие на основе металл-окисного слояТ1-5|О2 и антиотражакзщей пленки .

Поглощающий слой состава G.-STt 0,5 «Og по весу, нанесенный в вакууме имеет в области спектра 0,4-0,7 мк.м коэффициент отражения 10%.

Использование антнотражающей плен ки 3102позволяет сниэи1 интегральное отражение в области спектра 0,4 мкм - 0,7 мкм до 1 %,

Описанное покрытие неполной мере отвечает требованиям, предъявляемым к поглощающим покрытиям только в видимой области спектра О ,4-0,7 мкм.

Цель изобретения - обеспечение поглощения в инфракрасной области спектра

Это достигается тем, что светопоглощающее покрытие,,содержащее слой, включающий металл и слой с показателем преломления 1,44-1,45,.выполненный из дополнительно содержит слой с показателем преломления 1,852 расположенный между указанными слоями, а в качестве металла - Сгу причем отношение StOg/Cr 0,43-0,67.

2

«Слой с показателем преломления 1,852 может быть выполнен из211ОдИЛи SnOj. Поглощающие покрытия на основе металл-окисной композиции Сг - SiO при содержании Cf 60-70% по весу и пленок окислов 6 О2, SrtOj ,И О2 получают в вакуумной камере с помощью электронного испарителя при остаточном

-3

разряжении

, в качестве подлотор

жек используют металлические диски из стали Х18Н9Т с оптически полированной поверхностью и стекла различных марок {К8, зеркальное др.).

Поглощающий слой на основе металлокисной смеси sj Oj напыляют на подложке в режиме ,5 - 4,0 кВ, 1 э. 80 - ISOtnA.

В испаритель в виде таблетки помещают кермет, который готовят по следующей технологии: компоненты смеси SiOg предварительно сме{11ивают в среде этанола в течение 0,5 часа, затем смесь прессуют при давлении 10001500 кг/см. Далее смесь сушат и спекают при температуре lOOO-l OO C в вакууме не ниже 5-10 мм рт.ст. или в среде инертного газа -при атмосфериом давлении.

Двуокись кремния в виде кусочков плавленного кварца испаряют в режиме кВт; 1 « iOO-150 n A. Из порошков 5HOji и 2pОтпрессуют таблетки при давлении 150 ат/см. При испарении SttO :мощность испарителя, составляет 0,1 кВт (V« 5 кВ; 1 20 m А). При испарении rQ-i мощность испарителя 0,7 кВт ( 1 100 m А). Иа чертеже приведены спектральные кривые отражения поглощающего слоя 0,7 СП - 0,3SrOj, до (кривая 1) и после нанесения на его поверхность двухслойных антиотражающих систем eiO ибгОг (кривая 2) или Si О-ибнС (кривая 3). Показатели преломления слоев и их толщина удовлетворяют соотнеимениям: «|di- J 2dz-(2M) «1,«г / -2«.K.i Ч -S }Для спектральн кривых/ приведенных на чертеже толщины, о..исных слоев составляют 0,145 мкм;с{2 0,06 мкм. Толщина непрозрачного в области спектра 0,4-1,5 мкм металл-окисного слоя 0,7 С - 0,3Si Oj,, мкм. Данные спектральные кривые отражения можно смещать по спектру & ту или иную сторону, варьируя толщины слоев антиотражакхцей системы., Описанное поглощающее пок1штиб, вы полненное на основе метгшл-окисного слоя CY -6iOj и антиотражающей системы, на. основе окислов, например, 6« Оц вп02 или5;кО2, х.арактериэуется широ кой областью минимального отргикения (0,4-1,5 мкм), в которой коэффициент отражения не превышает 4%, а в точках минимума 0,1-0,5%. Покрытие обладает высокой механической прочностью и влагостойкостью и может быть выполнено на любых .подложках, поглощгиощих (метешлических) слабопоглощаиощих (п/п) и прозрачных (стекла различныхМарок). Формула изобретения 1.Светопоглощающее покрытие, содержащ&е слой, включающий металл, ei О и слой с показателем преломления 1,44-1,45, выполненный преимущественно из SiOj, отличающийс я тем, что, с целью обеспечения поглощения в инфракрасной области спектра, оно дополнительно содержит слой с показателем преломления 1,852, расположенный между указанными слоями, а. в качестве металла - Си, причем. aiOj/Cv,43-0,67. 2.Покрытие по п.1, о тли ч а ющ е е с я тем, что слой с показателем преломления 1,85-2 выполнен изSpO. или 6пО2 Источники информации, принятые во внимание.при экспертизе: 1. Бельшкин Д.В., Первеев А.Ф. Светопоглощающее покрытие на основе керметных пленок. Журнал прикладной спектроскопии, 1д70, т.ХП, 1, с. .