Способ измерения толщины слоев многослойных изделий Советский патент 1978 года по МПК G01B7/06 G01N27/86 

Изобретение относится к неразру шающему контролю изделий и может быть использовано для измерения то щины слоев многослойных объектов. Известен вихретоковый способ измерения толщины ПОКЕ«ТИЙ на элек тропроводящем основании, заключгиощи ся в том, что о толщине контролируе мого покрытия судят по сигналу вихретокового накладного преобразовате установленного на поверхности контролируемого покрытия l. Недостаток известного способа заключается в том, что он не позвол ет измерять толщину диэлектрического покрытия на диэлектрическом осно вании. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ измерения толщины слоев многослойных изделий, заключающийся в том, что при изготовлении изделия между его слоями размещают электропроводящие межслойные элементы, накладной индук тивный преобразователь располагают на одной из поверхностей изделия, и по величине сигнала этого преобразователя судят о измеряемых толщинах слоев 2 . Однако известный способ не позвоЛяет измерять толщину покрытий с необходимой точностью, так как при использовании его величина сигнала преобразователя зависит от электрофизических свойств межслойных элементов. Кроме того, при увеличении числа слоев, подлежащих контролю, точность измерения известным способом резко падает. Цель изобретения - повышение точности измерений. Цель достигается тем, что по предлагаемому способу в качестве межслойных элементов использ-уют систему линейных проводников, через которые поочередно пропускают переменный ток . На чертеже представлено устройство, поясняющее предлагаемый способ. Устройство содержит источник 1 переменного тока, соединенный через коммутатор 2 с линейными проводниками 3,.Заложенными между слоями 4, и накладной индуктивный преобразователь 5. Толщина слоев измеряется следующим образом. Устанавливают преобразователь 5 на поверхность контролируемого изле