Способ измерения толщины слоев многослойных изделий Советский патент 1980 года по МПК G01B7/06 

рые поочередно намагничивают, перед измерением и размагничивают по окончании его. На чертеже показано, многослойное изделие, разрез, толщину слоев которого измеряют предлагаемым способо.м. Между слоями / многослойного изделия размещены точечные межслойные элементы 2 из ферромагнитного материала. Накладной преобразователь 3 содержит из меритель 4 параметра поля и источник 5 намагничивающего и размагничивающего поля. Расположение межслойных элементов 2 и И1х количество определяю тся принятой для данной технологии изготовления сеткой допускового контроля толщины. Способ осуществляется следующим образом. Накладывают преобразователь 3 на поверхность контролируемого изделия над одним из ферромагнитных межслойных элементов 2, намагничивают до насыщения данный элемент источником 5 на.магничиваю1него поля (например, источником аксиального поля), после чего измеряют измерителем 4 избранный параметр и по величине этого параметра судят о толщине слоя Гх. По окончании измерения элемент размагничивают, например, с помощью того же источника 5. При соблюдении условий R Т, С/ (R н б - соответственно радиус и толщт-ша ферромагнитного межслойното элемента) величина поля в точке над элем ентом 2 giy-. дет зависеть только от расстояния между данным элементом и преобразователем 3, то есть от трлщины слоя /. Поскольку все окружающие элементы 2 находятся в размагниченном состоянии, их влиянием на результат измерения в данной точке можно пренебречь. Таким образом, положительный эффект аключается в , что предложенный способ дает возможность измерять толщину слоев многослойных объектов, особенно в лучаях, когда эти объекты имеют малые габариты и очень сложную пространственную конфигурацию, например гребенчатую с малыми размерами выступов и впадин, а также повысить точность измерения путем устранения влияния рядом расположенных межслойных элементов на результаты контроля. Кроме того, возможен контроль толщины слоев изделий из цветных металлов в любых сочетаниях с диэлектриками. Формула изобретения Способ измерения толщины слоев многослойных изделий, заключающийся в том, что при изготовлении изделия между его слоями размещают межслойные элементы, располагают накладной преобразователь на одной из поверхностей изделия над межслойным элементом и по величине сигнала этого преобразователя судят об измеряемом параметре, отличающийся тем, что, с целью повышения точностн измерения, межслойные элементы выполняют точечнырли -из ферромагнитного материала, которые поочередно намагничивают перед измерением и размагничивают по окончании ег0. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР ЛЬ 223375, кл. G 01 В 7/06, 1966. 2.Авторское свидетельство СССР № 619783, кл. G 01 В 7/06, 1977 (прототип).