Преобразователь механических величин Советский патент 1978 года по МПК G01L1/22 

Изобретение относится к области конгролыю-измерительной техники, в частности к системам приборов и срепств автоматизации для получения информации о величине измеряемых механических параметров, и может быть использовано для измерения давления жидкости и газа, упругих сил и вибрации на изделиях космической, авиационной и судостроительной технинн.

Известней тензорезистс с темп атурной стабилизацией, содержащий упругий элемент, тензорезистор и терморезнстор, не обеспечивает необходимой температурной стабилизации тензорезистора IJ.

Наиболее близким по технической сущности является преобразователь механических величин, содержащий чувствительный элемент, на котором сформированы тензорезистор и терморезистор, соединенный с регулирующим элементом, выход которого подключен к термоэлектрическим элементам тепла и холода 2.

К недостаткам известного прео азователя относятся значительные температурные погрешности.

Цель нзоСретения - уменьшение твл иперчтурной погрешности.

Эта нель достигается за счет того, что в нем т моэлектрические элементы тедша и холода выполнены в виде тонких пленок, а термореаистор и тензорезистор расподгжены между ними.

На ч геясе представлен преобразователь мехамическгх величин.

Прес азоватет содержит чувствительный элемент 4, на котором сформированы тер гоэлектрические элементы- 2 и 3 тепла и холода в виое тонких пленок, между которыми заключены тензорезист(ф 4 и т морезистор 5, изолированные друг от друга, а также от чувствительнмо элемента и окружающей среды пленками диэлектрика 6-9. В цепь термоэлёй трических элементов 2 и 3 включен регулирующий элемент 1О, а в цепь тензорезистора 4 - измерительный прибор 11,

Чувствительный элемент 1 воспринимает воздействие изменякядейся мехайической ве/гачины. От тензорезистора 4, оасположенного в области максимальной