Датчик механических величин Советский патент 1981 года по МПК G01L1/22 

I

Изобретение относится к сипоиаМер тепьной технике и может ёыть испош зовано для измерения усилий с высокий точностью.

Известный датчик механических вепичин, содержащий попупровоиншсовую пластину с твнзорезисторш и и .те{ лорезисторами, не обеспечивает требуемой точности i .

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является датчик механических величин, содержаний чувствительный элемент, на котором сформированы тензорезистор и тв{Ж орезистор, соединенный с регулирующим элементом, выход которого подключен к термоэлектрическому элементу тепла я холода l.

К недостаткам известного датчика ОРносится низкая точность измерения.

Цель изобретения - повышение точности измерения.

Указанная цель достигается тем, что в нем чувствительный элемент выпопнен

в виде вопуорсюааниковой пластины одного из тти apoBoaiMocTH ( п-типа), на одной В9 сторон которой легированием тип ароаоузимости изменен на противопо ложный относительно типа аровоаимости самой ппаствны, тензорезистор и т }морезистор образованы на пюбой из сторсж пп ютины в виде областей, проводимость которых отлична от проводимости данной стороны пластины.

На чертеже приведен предлагаемый датчик механических величин.

Датчик содержит чувствительный элемент 1, в теле которого с одной стороны сформирсшаны тензорезистор те{ морезвстор 3..

Чувствительный элемент 1 выполнен в виде полу проводи иковой пластины 4 р-тиаа и 5 п-типа, образованной легированием. Терморезистор 3 соединен с регулирующим элетиентом 6, а тензорезисгор 2-е нзмерительньп) прибором 7.