Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для исследования качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей и может найти применение в производстве, занятом изготовлением оптических элементов, а также при исследовании газов, жидкостей и других прозрачных сред. Известен интерферометр для иссле дования качества оптических элементов, содержащий источник света, осветительную систему, рассеивающую пластину, формирующую рабочий пучок заполняющий всю апертуру исследуемого оптического элемента и узкий опорный пучок и систему наблюдения интерференционной картины l| . Недостатком известного интерферометра являются большие потери све и невозможность высокоточного контро из-за аберраций, возникающих вследс вие неидентичности пучков, использу емых в схемах изготовления пластины Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для исследования ка-чества оптических элементов и прозрачных неоднородностей, содержащий источник света, установленные после довательно.по ходу лучей осветительную систему, светоделитель, блок фокусировки пучка лучей, выполненный в виде сферического зеркала, блок наблюдения интерференционной картины и регистратор 21 . Однако неустойчивость интерференционной картины к внешним воздействиям в известном интерферометре приводит,к потере точности при контроле оптических элементов, а ограниченная апертура прибора, вызванная аберрациями светочувствительного элемента, приводит к понижению точности. Для повьяиения точности измерений светоделитель выполнен в виде пластины с центральным отверстием, интерферометр снабжен плоским зеркалом с отражающим покрытием, расположенным в отверстии светоделителя под углом 90 к его поверхности, а блок фокусировки выполнен в виде отражающего компонента с положительной оптической силой. На чертеже дана схема предлагаемого интерферометра. Он содержит источник 1 света осветительную систему 2, светолелительную пластину 3 с центральным отверстием, в котором под углом 90к поверхности светоделителя помещено плоское зеркало 4, блок фокусировки выполненный в виде отражающего компонента 5 с положительной оптической силой, блок 6 наблюдения с регистратором (на фиг. не показан). Интерферометр работает совместно с исследуемой системой 7 и устанавливается (в зависимости от контролируемого объекта) либо в центре кривизны сферического зеркала, либо в фокусе исследуемого, объекта, установ ленного перед автоколлимационной отражающей поверхностью. Принцип действця прибора представ лен на примере исследования сферического зеркала. Свет от источника монохроматического света направляется на осветительную систему 2. После выхода из нее пучок светоделительной. пластиной. 3 делится на два опорный и рабочий. Опорный пучок, отражаясь от светоделителя 3, фокус руется на поверхности проверяемой системы 7, отражается от нее и проходит в блок 6 наблюдения. Рабочий пучок проходит светодели тель 3, попадает на отражающий компонент 5 и фокусируется на поверхно зеркала 4 в автоколлимационной точке О, поступает на проверяемую систему 7 и обратно на отражающий компо нент 5, светоделительную пластину, где объединяется с опорньни пучком, и в блок 6 наблюдения. Образовавшаяся интерференционная картина характеризует качество поверхности систелал 7. При контроле прозрачных неоднородностей проверяе мая система 7 за юняется образцовой и вблизи нее помещается исследуемая среда. Форма интерференционных поло может регулироваться либо перемещением всего интерферсметра относител но точки О центра кривизны системы 7, либо перемещением и наклонами отражательного компонента 5. Параметры и положение осветительной системы 2 выбираются такими,чтобы вышедший из него пучок собирался точно на поверхности проверяемой системы 7. Для осуществления этого, осветительная система имеет осевое перемещение вдоль оптической оси. Отражательный компонент 5 может быть выполнен в виде зеркала типа Манжена, либо в виде положительного объектива, работающего совместно с плоским зеркалом и имеющего перемещение вдоль оптической оси для фокусировки рабочего пучка в автоколлимационную точку 0. Формула изобретения Интерферометр для исследования качества оптических злементов и прозрачных неоднородностей, содержащий источник света, установленные последовательно по ходу лучей осветительную систему, светоделитель, блок фокусировки пучка лучей, блок наблюдения и регистратор, отличающийся тему что, с целью повьхиения точности измерений, светоделитель выполнен в виде пластины с центральным отверстием, интерферометр снабжен плоским зеркалом с отражающим покрытием, расположенным в Отверстии светоделителя под углом 90 V поверхности, а блок фокусировки выполнен в виде отражающего компонента с положительной оптической силой. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Патент США № 3799673, кл. 356-109, 1972. 2.Техническое описание интерферометра ИТ-172, выпуск ГОИ.
ItjiecMoemt навлюЗемия
