Интеферометр для исследования качества поверхностей и аберраций крупногабаритных оптических элементов и прозрачных неоднород ностей Советский патент 1976 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 G01B11/30 G01N21/45 

Для упрощения конструкции, повышения точности и производите-льности контроля интерферометр снабжен отрицательной линзой, установленной в опорной ветви интерференционного блока между светоделителем и ска нирующим зеркалом и выполненной с возмож ностью фокусирующего осевого перемещения а ось поворота сканирующего зеркала и его отражающая поверхность совмещены с фокусом обтзоктиза осветительной системы. ria 4i:p:e::-e ruuia с:лома интерферометра. On coi:iepxi;r: иб-:л;к-ив .1 осветительной системы, чоркалыьтр г1.: лНтьт 2-5, расположенные п верштмгх парчл.пепограмма, два из которых 2 и выполнен позоротттьг:.-, ЗУ 6. Интерферометр работает тз автомолличгационной схеме совмостни с исспецуемт гх) калом 7 и устанавливается, в заБ.симост;. от контролируемого объекта, лт-бо в нелтое кривизны сферического зеркала, либо в фокусе исследуемого объектива. Работает интерферометр слецующим обра зом. Параллельный световой пучок монохроматического света направляется на объектив 1, фокус которого совмещен с отражающей поверхностью зеркала 5. После выхода из объектива пучок света светоделителем 2 де лится на два пучка - рабочий и опорный. Ра бочий пучок, пройдя светоделитель 2, с помощью зеркала 3 и светоделителя 4 направ ляется на исследуемое сферическое зеркало 7. Опорный пучок после отражения от светоделителя 2 попадает на линзу 6, а затем зеркалом 5 направляется на зеркало 7. Параметры и положение линзы 6 выбираются такими, чтобы выщедщий из нее пучок собирался точно на поверхности зеркала 7. Для выполнения этого условия линза 6 имеет осевое фокусирующее перемещение. Отражающие поверхности элементов интерфероме ра располагаются в вершинах параллелограм ма. Благодаря этому обеспечивается совпадение осей опорного и рабочего пучков в пр межутке между светоделителем 4 и зеркалом 7. Зеркало 5 выполнено поворотным. Ос вращения направлена перпендикулярно к плос кости чертежа и проходит через фокус объек тива 1. Поворотом зеркала опорный пучок может быть направлен в любую точку поверх ности зеркала 7. Необ;х:одимость в сканирую щем перемещении пучка возникает, например, при наличии отверстия в центре зеркала 7, при выборе зоны с минимальным воз- мущением воздушной среаы и т.п. В рабочее положение интерферометр устанавливается так, что фокус его объектива 1 совмещается с центром кривизны зеркала 7. В этом случае реализуется аатоколлимаиионный ход лучей, обеспечивающий на выходе интер ферометра полное наложение друг на друга опорного и рабочего пучков и образование интерференции. Наложение и структура пучков не нарушается при сканирующем перемещении опорного пучка. Благодаря этому упрощается работа интерферометра и отпадает необходимость в снабжении окулярной части сложным поворотным механизмом. Образовавщаяся интерференционная картина характеризует качество поверхности зеркала 7. При контроле прозрачных неоднородностей зеркало 7 заменяется образцовым и вбхшзи него помещается исследуемая среда. Форма полос картины может регулироваться либо перемещением всего интерферометра относительно центра кривизны зеркала 7, либо перемещением и наклонами отдельных элементов интерферометра (зеркала 3, светоаелителя 4, линзьг б). Формула и 3 о б р е т е и - я Интерферометр пля исплеаованкл качества поверхностей и аберраций крупногабаритных оптичес1шх элементов и прозрачных неодкородностей, солержаишй установленные последовательно осветительную систему и зеркальный интерференционный блок, имеющий опорную и рабочую ветви и вьшолненный в виде двух светоделителей и двух зеркал, одно из которых, установленное в опорной ветви, является сканирующим, о т л ичающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, повыщения точности и производительности контроля, он снабжен отрицательной линзой, установленной в опорной ветви интер{|)еренционного блока между светоделителем к сканирующим зеркалом и выполненной с возможностью фокусируюпюго осевого перемещения, а ось поворота сканирующего зеркала и его отражающая поверхность совмещены с фокусом объектива осветительной системы. Источники информации, принятые во вниание при экспертизе; 1,Патент США №3799673, кл. 35609, 17.04.72. 2.ОМП, 1974, № 2, с 24 (прототип).