Устройство для поворота луча Советский патент 1978 года по МПК H01J3/32 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОВОРОТА ЛУЧА штейне 3. На боковых сторонах 4,5 тигпя на некотором безопасном расстоянии находятся стержневые полюсные наконечНИКИ 6,7 изгибающего, магнита, на которых укреп пены соответствующие катушки 8, 9. Стержневые полюсные наконечники и катушки имеют водяное охлаждение и укреплены на поворотных рычагах 10,11, выполненных из немагнитного материала. Рычаги соединены с тигельным кронштейHDM 3 с помошью полой немагнитной поперечины 12. При смене тигеля посредством вращения поперечины полюсные наконечники 6,7 поднимаются и освобождают тигель 2. Концы катушек 13,14 в втом примере не соединены с магнитным ярмом, магнитная цепь аамыкаетх;я через воздушные зазоры между полюсными наконечниками 6 7 и концами катушек 13,14, поскольку камера установки для испарительного покрытия выполнена из немагнитного материала. Возможны также устройства, в кото рых магнитная цепь замыкается через ярмо полюсных наконечников, например механизм отведения. Далее магнитная цепь образуется дву;мя воздушными зазорами между концами катушек 13,14 и стенками 15-17 камеры, если камера выполнена, из магнитньп материалов. Кроме того, магнитная цепь может быть выполнена как показано на фиг. 2, где рычаги 10,11 и прерванная в област прохода електронного луча 18 поперечина 12 выполнены из магнитного материала. Свободные концы частей 19 и 20 поперечины выполнены как полюсные наконечники 21,22, а части 19 и 20 соединены с тюмощью бугеля 23. Устройство работает следующим образом. Электронный луч 18, выходя из влект ронной пушки, попадает сначала в област неоднородного магнигного поля между полюсными наконечниками 21,22, При этом он отклоняется вверх, т.е. от поверхности ванны в тигле 2, за счет неоднородности поля между полюсными наконечниками 21,22. Электронный луч с координатой/Y/ О отклоняется вверх этой области сильнее, чем электронный луч с координатой/V/ 0. Угол ввода корректируется почти исключительно посредством имеюшегося между полюсными наконечниками 21,22 неоднородного магнитного поля. Введение этих полюсов позволяет сушественно сократить размеры полюсных наконечников 6,7, находяшихся непосредственно вблизи тигля, что уменьшает вероятность попадания на них испаряемого материала. Ф о рмула изобретения Устройство для поворота луча, например, в эпектроннолучевой напылите пьной установке, содержашее магнитную поворотную систему, расположенную вблизи источника напыления, и магнитную отклоняющую систему, расположенную на выходе влектронного луча из электронной пушки, отличающееся тем, что, с целью уменьшения габаритов за сче уменьшения плошади полюсных наконечников, на пути электронного луча введена дополнительная поворотная магнитная система, соединенная с первой магнитопроводом. Источники информации, принятые во внимание при вкспертизе: 1.Патент США № 3394217, кл. 13-33, 1968. 2.Патент ГДР № 64635, М. кл. Н 01 J 3/32, 1967.