Электронно-лучевое испарительное устройство Советский патент 1984 года по МПК H01J37/02 

2. Устройство по П.1, отличающееся тем, что электромагниты отклоняющей системы и фокусирующей линзы размещены вне вакуумной камеры, а полюсные наконечники отклоняющей системы соединены с электромагнитом посредством магнитопровода.

1. ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОЕ .ИСПАРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО, содержащее вакуумную камеру, электронную пушку, тигель, электромагнитные фокусирующую и отклоняющую системы, электромагниты которых защищены экраном, а полюсные наконечники отклоняющей системы размещены в вакуумной камере, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, фокусирующая система выполнена в виде линзы с арочной геометрией-магнитного гтоля и размещена под тиглем, соосно последнему. (Л Фог. /

Изобретение относится к электротермии, а именно к электроннолучевым установкам для плавки, испарения и обработки материалов. Известно .электроннолучевое испарительное устройство, содержащее вакуумную камеру с расположенным в ней тиглем, электронной пушкой и электрогтагнитным отклоняющим устройством С Зг Недостатки данного устройства обу ловлены расположением отклоняющего устройства вместе с катушкой электромагнита в вакуумной камере, где под воздействием высоких рабочих температур, отраженных электронов и брызг от тигля катушка нагревается, в результате испарений от элемен тов нагретой катушки загрязняется камера и поэтому ухудшается качество наносимых покрытий |Кроме того, в упомянутых устройствах отсутствует фокусирующая система, что также отражается на качестве покрытия, так как пучок электронов в них може.т попадать на края тигля. Известно также электроннолучевое испарительное устройство, содержащее вакуумную камеру, электронную пушку тигель, электромагнитные фокусирующу и отклоняющую системы, электромагнит которых защищены экраном, а полюсные наконечники отклоняющей системы размещены в вакуумной камере. Низкое качество наносимых покрыти данного устройства обусловлено размещением отклоняющей и фокусирующей системы вместе с катушками возбуждения в вакуумной камере, где под возд ствием высоких температур, отраженны электронов и брызг от тигля катушки нагреваются, и вследствие испарений от нагретых катущек камера загрязняе ся, что ухудшает качество наносимых покрытий. Целью изобретения является повьш1е ние качества покрытий. Указанная цель достигается тем, что в электроннолучевом испарительном устройстве, содержащем вакуумную камеру, электронную пушку, тигель, электромагнитные фокусирующую и отклоняющую системы, электромагниты которых защищены экраном, а полюсные наконечники отклоняющей системы размещены в вакуумной камере, фокусирующая система выполнена в виде линзы с арочной гео-. метрией магнитного поля и размещена под тиглем соосно последнему. Кроме того, электромагниты отклоняющей системы и фокусирующей линзы размещены вне вакуумной камеры, а полюсные наконечники отклоняющей системы соединены с электромагнитом посредством магнитопровода. Благодаря использованию фокусирующей линзы и такому конструктивному расположению элементов в предлагаемом устройстве из вакуумной камеры удаляются такие элементы, которые при эксплуатации устройства под воздействием высокой температуры, брызг от тигля и отраженных электронов загрязняют камеру своими испарениями, ухудшают вакуум,, а следовательно ,и качество покрытия. На фиг.1. представлено испарительное устройство, общий вид;.на фиг.2 то же, вид слева; а на фиг.З - то же, вид сверху. Электроннолучевое испарительное устройство представляет собой вакуумную камеру (на чертеже не показана) и включает смонтированные на фланце 1, закрывающем вход в вакуумную камеру, тигель 2, расположенную.соосно с тиглем 2 и размещенную под ним вне вакуумной камеры фокусирующую линзу 3, отклоняющее устройство 4, смонтированное таким образом, что два магнитопровода 5 введены в вакуумную камеру через два отверстия во фланце 1 и по периметру вакуум-плотно приварены к нему, а катушка 6 отклонякнцего устройства 4, надетая на сердечник магнитопровода 5, находится вне вакуумной камеры. К внутренним концам магнитопровода 5 прикреплены полюсные наконечники 7, к которым прикреплена электронная пушка 8. Работает предлагаемое устройство следующим образом. Электронный пучок, выходя11р1Й из пушки 8, попадает между полюсными наконечниками 7 отклоняющего устрой ва 4, отклоняется там поперечным магнитным полем, возбуждаемым катуш кой 6 и передаваемым к полюсным наконечникам 7магнитопроводом 5,. и направляется на тигель 2, размещенный на фланце 1 испарительного устройства. У тигля 2 электронный пучок фокусируется магнитным полем,создаваемым фокусирующей линзой 3 над поверхностью испаряемого вещества, плавит и испаряет вещество, находящееся в тигле 2 для испарения. Качество покрытий, наносимых при использовании данного устройства, повьшается не менее чем на 10% при увеличении скорости нанесения покрытий.