Способ изготовления фокусирующего электрода вторично-электронного умножителя Советский патент 1978 года по МПК H01J43/10 

Изобретение относится к электронной технике, в частности, к способу изготовления фокусирующего электрода вторично-электронного умножителя. Известен способ изготовления фокусирующего электрода в виде кольца, заключающийся в щтамповке и химической очистке поверхности 1. Недостатком данного способа является частичная коррозия поверхности электрода и вследствие этого ухудщение параметров прибора в.целом. Известен способ изготовления фокусирующего электрода вторично-электронного умножителя, заключающийся в щтамповке электрода с псйледующей химической обработ кой электрода 2. В этом способе отщтампованный электрод из АЕ или AI-Mg-Ag сплава подвергают обработке в водном растворе серной, хромовой или углекислоты, что предотвращает коррозию электрода. Однако при из готовлении известным способом фокусирующего электрода имеет место увеличение фона вторично-электронного умножителя при его работе в условиях интенсивного освещения, так как кванты света после отражения от поверхности исследуемого объекта или непосредственно от источника света попадают на фокусирующий электрод из тройного сплава AI-Mg-Ag или из At, вызывая фотоэлектронную эмиссию. Высокий фон вторично-электронного умножителя при работе в условиях интенсивного освещения снижает его качество, в частности, понижается чувствительность (разрещающая способность), что ограничивает область его применения. Целью изобретения является уменьщение фона вторично-электронног умножителя при его работе в световых потоках. Это достигается тем, что заготовку фокусирующего электрода после химической обработки покрывают слоем металла, затем электрод прогревают в воздухе при 300- 500°С в течение 2-3 ч. В качестве указанного металла может быть применен металл из группы AVH, например W, Мо, Та, а также- Си. Пример. Отщтампованную заготовку электрода из AJ или сплава А1-Mg-Ag помещают в вакуумную камеру при Р 10 - торр, подвергают ее очистке в газовом разряде, затем на заготовку при 10 - 10 торр напыляют слой металла, например, Си. Заготовку фокусирующего эле трода с

напыленным слоем металла затем прогревают на воздухе в течение 2-3 ч при 300- 500°С.

Обработанный такнм образом электрод готов для монтажа в приборе.

Покрытие заготовки можно производить не только напылением вышеперечисленных металлов, но и гальваническим путем.

Как показали прямые измерения фонового тока, при температуре прогрева ниже 300°С или времени прогрева меньше 2 ч не удается получить заметного уменьшения фона. Прогрев при температуре выше 500°С или длительнее 3 ч не приводит к заметному улучшению характеристик и не оправдан технологически.

Электроды, изготовленные по приведенному способу, позволили резко уменьшить фон вторично-электронного умножителя при работе в условиях интенсивного освешения. Если ранее серийно выпускаемый вторичноэлектронный умножитель ВЭУ-IA имел при работе в световом потоке ртутно-кварцевой лампы (Л 250 нм) фоновый ток 10 А, то после изготовления электрода по предлагаемому способу фоновый ток прибора уменьшился до 2- А.

Вторично-электронный умножитель при этом сохранил высокий коэффициент усиления (10), эффективность счета электронов 50-70% и темновой ток до А, к тому жх, расширилась область ei.o применения.

Формула изобретения

1.Способ изготовления фокусируюшего электрода вторично-электронного умножителя, заключаюш.ийся в штамновке электрода с носледуюшей химической обработкой, отличающийся тем, что, с целью уменьшения фона вторично-электронного умножителя, заготовку фокусирующего электрода после химической обработки покрывают слоем металла, затем электрод прогревают в воздухе при.ЗОО-500°С в течение 2-3 ч.

2.Саособ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве указанного металла применен металл из группы AVII.

3.Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве указанного металла применена медь.

Источники ипформации, принятые во внимание при экспертизе;

1.Соболева Н. А. и др. Фотоэлектронные приборы. М., «Наука, 1965, с. 239-240.

2.Авторское свидетельство СССР № 268554, кл. Н 01 J 43/10, 1970.