Рентгеновский микроанализатор Советский патент 1978 года по МПК G01N23/225 

1

Изобретение относится к рентгеновским микроанализаторам.

Известны рентгеновские микроанализаторы, содержащие корпус, источник электронов, фокусирующее устройство, рентгеноснектральный канал, установленный на основании, жестко закрепленном в радиально расположенных пазах корпуса.

В известных конструкциях для увеличения количества рентгеноспектральных каналов используется осесимметричная установка оснований с рентгеноснектральными каналами вокруг оптической оси микроанализатора. Каждый рентгеноснектральный канал установлен нод одинаковым фиксированным углом к поверхности образца, определяемым конструктивными особенностями электромагнитного фокусирующего устройства (электромагнитной линзы) и требуемыми условиями отбора излучения.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является рентгеновский микроанализатор, содержащий корпус, источник заряженных частиц, фокусирующее устройство, держатель образца, рентгеноспектральные каналы с диспергирующими элементами и механизмами фокусировки, установленные на основаниях, которые расположены вокруг держателя симметрично

относительно оптической оси микроаналйзатора, световой микроскоп.

Недостатком известных микроанализаторов является относительно неоольщое число рентгеноспектрометрических каналов, которые можно установить без значительного увеличения габаритов аппарата.

Цель изобретения заключается в том,

чтобы расширить аналитические возможноO сти микроанализатора за счет увеличения

количества рентгеноспектральных каналов

без увеличения габаритов снектрометра.

Ноставленная цель достигается тем, что на каждом основании установлены два 5 рентгеноспектральных канала нод фиксированными различными углами к плоскости держателя образца, механизмы фокусировки которых установлены таким образом, что поверхности диспергирующих элементов обращены друг к другу. При этом фокусирующее устройство (электромагнитная линза) установлено в телесном угле, ограниченном углами наклона рентгеноспектральных каналов к новерхности держателя. 5 На чертеже схематически изображен предлагаемый рентгеновскнй микроанализатор.

Рентгеновский микроанализатор содержит корпус 1 с основанием 2, источник заряженных частиц 3, фокусирующее устройство (электромагнитную линзу) 4, пары рентгеноспектральных каналов 5 и 6, основания 7 для крепления каналов 5 и 6, световой микроскоп 8, держатель 9 с исследуемым образцом 10.

Пары рентгеноспектральных каналов 5 и 6 установлены на общем для каждой пары основании 7 под фиксированными углами (например, 60° и 18°) к плоскости образца 10. При этом механизмы фокусировки 11 каждой нары рентгеноспектральных каналов 5 и 6 развернуты друг к другу. Основания 7 закреплены в радиальных пазах 12 на основании корпуса, что обеспечивает точную ориентацию рентгеноспектральных каналов относительно точки падения заряженных частиц на плоскость исследуемого образца 10. Электромагнитная линза 4 расположена в пространстве телесного угла в, ограниченного углами наклона рентгеноспектральных каналов, определяемого направляющими перемещения диспергирующих элементов 13 каждой пары каналов 5 и 6, и закреплена в центральном отверстии основания 2.

Поток заряженных частиц от источника 3, сфокусированный электромагнитной линзой 4, проходит через центральное отверстие в объективе светового микроскопа 8 и бомбардирует поверхность исследуемого образца 10. Возбужденное в образце 10 характеристическое рентгеновское излучение проходит выше и ниже обмотки электромагнитной линзы 4 и попадает в рентгеноспектральные каналы 5 и 6, где анализируется и регистрируется.

Предложенное техническое решение рентгеновского микрообъемного анализатора позволяет вдвое увеличить число рентгеноспектральных каналов без увеличения

габаритов аппарата, что значительно расширяет аналитические возможности микроанализатора. Кроме того, такое решение обеспечивает оптимальные условия одновременной -регистрации жесткого и мягкого рентгеновского излучения.

В таком приборе возможно использование спектральных каналов разных типов (сканирующих с различными схемами фокусировки, квантометрических, полупроводниковых и т. д.) без уменьшения общего числа каналов, что расширяет круг задач, решаемых прибором.

Формула изобретения

Рентгеновский микроанализатор, содержащий корпус и расположенные в нем источник заряженных частиц, фокусирующее устройство, держатель образца, рентгеноспектральные каналы с диспергирующими элементами и механизмами фокусировки, установленные на основаниях, которые расположены вокруг держателя симметрично относительно оптической оси микроанализатора и микроскоп, отличающийся тем, что, с целью расширения аналитических возможностей за счет увеличения количества рентгеноспектральных каналов без увеличения габаритов спектрометра, на каждом основании установлены два рентгеноспектральных канала под фиксированными различными углами к плоскости держателя образца, механизмы фокусировки которых установлены таким образом, что поверхности диспергирующих элементов обращены друг к другу.

2. Микроанализатор по п. 1, отличающийся тем, что фокусирующее устройство установлено в телесном угле, ограниченном углами наклона рентгеноспектральных каналов к поверхности держателя.

л

п

п