Мишень видикона Советский патент 1978 года по МПК H01J29/45 

структуры с требуемым шагом, например, методом фотолитографии и химического травления. Сигнальная пластина с дискретным сигнальным электродом имеет дианазон прозрачности, ограничиваемый краем полосы пропусканий подложки.

Использование сигнального электрода, выполненного в виде дискретного растра, приводит к значительному уменьшению потерь световой энергии, особенно в вакуумной УФ области спектра, из-за отсутствия дополнительного поглошения материалом сигнального электрода.

Можно считать, что механизм работы такой мишени по существу не отличается от механизма работы обычной гетероструктурной мишени видикона, поскольку использование сигнального электрода в виде растра с размером ячейки 5-15 мкм слабо искажает электрическое поле.

На чертеже представлен один из возможных вариантов предлагаемой мишени.

На прозрачную в УФ области спектра подложку 1 нанесен в виде сетчатого растра сигнальный электрод 2, имеюш.ий обш,ий вывод 3 и фотослой 4. Подложка выполнена из плавленного кварца. Сигнальный электрод выполнен из двуокиси олова в виде сетки с размером ячейки 5-15 мкм, шириной прутка 5-15 мкм и получен из сплошной пленки, нанесенной методом катодно-реактивного распыления. Сопротивление такого электрода на расстоянии 14 мм между приложенными электродами составляет 4-5 кОм. Спектральное пропускание сигнальной пластины на нм составляет не менее 70%, тогда как для сплошной сигнальной пластины при прочих равных условиях пропускание составляет не

более 30%. Фотослой представляет собой многослойную композицию, включающую фоточувствительный слой селенида кадмия, промежуточный слой, содержащий соединения кадмия, кислорода и хлора, например

оксихлорид кадмия, толщиной 10-20 А, и слой высокоомного полупроводника, например, трисульфид мышьяка - сурьмы. Данный фотослой обладает при работе в стандартном релшме разложения высокой интегральной чувствительностью, малой инерционностью и высокой спектральной чувствительностью в УФ области. Видикон с такой мишенью может использоваться в системах космического, специального или промышленного телевидения, работающих как в стандартном, так и в малокадровом режиме разложения как в видимой, так и в УФ области спектра.

Формула изобретения

Мишень видикона, содержащая подложку, фотослой и расположенный между ними сигнальный электрод, отличающаяся тем, что, с целью расширения области спектральной чувствительности, сигнальный электрод выполнен в виде дискретной структуры, элементы которой имеют общий электрический вывод, а шаг в направлении строчного разложения не превышает элемента изображения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 357623, кл. Н 01J 29/44, 1974.

2.Авторское свидетельство СССР № 498662, кл. Н 01J 31/38, 1976.