Мишень видикона Советский патент 1979 года по МПК H01J29/36 H01J31/38 

I

Изобретение относится к телевизионным передающим трубкам типа видикона, в частности к мишеням видиконов.

Известна мишеНь видикона, состоящая из подложки, сигнальной пластины, фотослоя и расположенного между сигнальной пластиной и фотослоем высокоиористого изолирующего слоя 1. В этой мишени фотопроводиик проникает в поры изолирующего слоя к образует множество кон тактов с сигнальной пластиной. Ввиду того что контакт сигнальной пластины с фотослоем в разных точках мишени различный, конструкщ1я имеет множество микродефектов в виде малопроводящих участков, рассеянных по поверхности мишени. Эти дефекты проявляются затем на изображении и ухудшают его качество.

Известна также мишень видикона, содержа щая подложку, проводящую сигнальную пластину, фотослой и сплошной непроводящий слой: между сигнальной пластиной и фотослоем 2. В этой мишени Проводящим слоем является прозрачная йеталлИческая пленка, а непроводящий слой из AljOs вьтолняет фзшкш ю блокирующего контакта.

С течением времени тип контакта между сигнальной пластиной и фотослоем в такой мишени видикона может измениться на омический, что выражается в уменьшении темнового сопротивления мишени. Это связано с тем, что ионы щелочных металлов, особенно ионы натрия, дрейфуют в электрическом поле как по поверхности, так и.внутри окисла. Щелочные ионы даижутся из стеклянной подпожгси к фотослою, уменьшая постепенно эффективную толщину блокирующего барьера. Изменение типа контакта между сигнальной пластиной и фотослоем приводит к вьь ходу мишени и видикона из строя.

Целью изобретения является повышение процента выхода годных приборов и увеличение сроsка службы.

; Указанная цель достигается тем, что непроводяшрий сяой выполнен из нитрида элемента III и ly группы, например нитрида кремния.

Мишень видикона представляет собой подложку, на которой расположены сигнальная пласшна, непроводящий спой и слой фотопроводника. Подложка, являющаяся фронтальным окном виднкона, выполнена из прозрачного материала, нагзример стекла, кварца. В зайи.симости от применения видикона в качестве подножки может быть использована оптоволоконная пластина, лейкосапфир и другие материалы. Сигнальная пластина в виде прозрачного проводящего слоя располагается на стороне подложки, обращенной внутрь вндикона.,

Сигнальная пластина представляет собой тонкую пленку из металла, обеспечивающего требуемое спектральмэе светопропусканиеФ Например, при работе видикона в ближней ультрафиолетовой области, используется пленка благородных металлов, таких как палладий или платина. В зависимости от области применения сигнальная штастина может быть выполнена и ПроЗрачHbix проводящих окислов, например окиси индия, окиси олова, окиси железа и др. Сигнальная пластина обесг ечивает контакт с внешним вьгоодом видикона.

Поверх сигнальной пласГинь иахоДИтЬя непроводящий слой нитрида элемента И и iV группы, например нитрида алюмншся, нитрида герма Ш4Я и т. д.

Наилучшие результаты дает слой из нитрида кремния. Этот слой выполняет функция барьерного запирающего слоя и обеспечивав высокое темновое сопротивление видакона. Его толцдана может быть от 00 до 1500 А. Нижняя граница определяется возрастанием темнъвого тока, а верхняя - нарушением работы видикона в связи с затрудненной разрядкой мишени.

Поверх слоя нитрида размещен фотопроВодяидий слой. Этот слой может .быть выполнен на основе аморфнлго селена с добавками As, Sb и S или представляет собой систему полупроводН VI

НИКОВ группы А В , например CdSe - CdTe. Магериал и толщина полупроводникового слоя определяются требуемыми параметрами видикона. Фотопроводящий слой может состоять из нескольких прослоек.

Использование в качестве непроводящего слоя, расположенного между сигнальной пластиной и фотослоем, пленки нитрида кремния обеспечивает мишеьш видикона высокую стабильност так как нитрид кремния является стойкой маской от диффузий для различных ионов, в том числе и ионов щелочных металлов. В результате этого возрастает срок службы видиконов.

Применение нитрида кремния обеспечивает также повышение процентаВькода годных видиконов по темновому фону.

Формула изобретения

1. Мишень видакоИа, содержащая подложку. Проводящую сигнальную пластину и сплошной непроводящий слой межву. сигнальной пластивой и фотослоем, отличающаяся тем, что, с целью гювьпаения процента вькода годньрс приборов и увеличения срока ,службы, йепроводящий слой, выполнен из нитрида элемента tif и IV группы.

Z Мищень по п, 1, отличающаяся тем, что непроводящ1Й слой выполнен из нитрида кремния.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США №288Ь340, кл. 313-65,. 1956.

2.Авторское свидетельство СССР N 498662, кл. Н 01 J 31/38, 1977.