Расходомер Советский патент 1979 года по МПК G01F1/36 

1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения расхода жидкости.

Известны расходомеры, измеряющие расход протекающей среды по деформации чувствительного элемента, например, диафрагмы. При этом деформация чувствительного элемента воспринимается тензорезистором 1.

Эти расходомеры имеют сравнительно невысокую чувствительность.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является расходомер, содержащий корпус с расположенными внутри него двумя радиально размещенными друг против друга пластинами, «а которых закреплены тензорезисторы, соединенные по мостовой схеме. Изменение сопротивления тензорезисторов приводит к разбалансу моста и служит мерой расхода 2.

Однако использование тензорезисторов, выполненных, например, из тонкой проволоки или образованных напылением йа гюдложку полупроводниковой пленки, приводит- к снижению чувствительности, надежности и ухудщению метрологических характеристик.

Для повышения чувствительности и точности измерения в предлагаемом р)асход()мере чувствительный элемент выполнен в виде полупроводниковой диафрагмы, состоящей из центральной части, отделенной от периферийной С-образной щелью, на перемычке между торцами которой размещены тензорезисторы.;

На фиг. I показан разрез описываемого расходомера по оси симметрии; на фиг. 2 вид расходомера сверху; на фиг. 3 - сечение чувствительного элемента.

Расходомер содержит корпус I- (например, часть трубопровода) с фланцами 2. Поперечное сечение корпуса 1 перегорожено чувствительным элементом - диском 3. Диск 3 состоит из двух частей: центральной 4 и отделенной от нее кольцевой С-образной щелью 5 периферийной части 6, зажатой при помощи колец 7 и винтов 8 в корпусе 1.

Чувствительный элемент - диск 3 выполнен в виде монокристаллической полупроводниковой диафрагмы, а в теле ее на участке наибольшей деформации, па перемычке между торцами С-образной щели размещены тензорезисторы 9, изготовленные методом ллвн&рж-ьэлииаксиалыюй технологии.. : . ::-.f v« - Для -првы 1ге й- гуд}:твительиости расходомера c.. стороны диска 3 под тензорезйсто)ами 9 делана прямоугольная rfbidopka Ю (|5ир), уменыиающая толщину диска .З., . ) «рабЛ-ает следующим обралт / 4V г;При Нротеканий потока измеряемой среды через корпус перед чувствительным эле ментом - диском 3 и за ним возникает перепад давления, обуславливающий деформацию центральной части 4 чувствительного элемента 3. Эта деформация воспринимается тензорезисторами 9, выходной сигнал с которых может быть значительным, что позволяет применять его без промежуточных усилителей по схеме измерительный мост - индикаторный прибор. Формула 11:юбретения Расходомер, содержащий корпус, внутри которого размещен чувствительный элемент с тензорезисторами, соединенными по мостовой схеме, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и точности измерения, чувствительный элемент выполнен в виде полупроводниковой диафрагмы, состоящей из центральной части, отделенной от периферийной С-образной щелью, на перемычке между торцами которой размещены тензорезисторы. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе; 1.Левин В. М. Расходомеры малых расходов для схем промышленной автоматики. М, 1972, с. 55. 2.Патент Франции № 2194953, кл. G 01 F 1/00. 1974.

X

.J