Репродукционный объектив Советский патент 1979 года по МПК G02B13/24 G02B11/34 

. 1 . , , Изобретение относится к рбласгй приборостроения, а именно к линзовым репродукционным объективам, и может быть использовано в установках Проекционной фотолитографии при производстве микроэлектроняых приборов.

Известны репродукционные объективы содержащие две разделенные диафрагмой группы линз l .

Эти объективы имеют малое поле зрения (2у 4О мм) и качество изображения, не удовлетворяющее требованиям микроэлектронного производства (разрешение ЗО-4О лин/мм по полю изображения).

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является репродукционный объектив, содержащий irecfb компонентов, из которъцс три расположёны перед диафрагмой, причем положительные второй, третий н пятый компонещ-ы вьшолвены в виде одиночных линз i2 .

W л

Этот объектив имеет малое поле изображения (от 30 до 43 мм).

Целью изобретения является увелвчёниб линейного поля арения и повышение разрешающей способности.

Это достигается тем, что в предлагаемом репродукционном объективе первый и шестой компоненты вьшолнень в Виде двусклеенных отрицательных линз, четвертъгй компонент - в виде двусклеенной положительной ливзы, при этом третий компонёт - положительный мениск, выпуклостью обращенный к диафрагме.

На чертеже изображена оптическая схема описываемого объектива, состоящего из шести KovmoHeHTOB 1-6 я распо ложенной между коктонентами 3 и 4 апертурной диафрагмы 7. Компоненты 1 и 6 выполнены в виде отринатеЛьнызс двусклеенных ливз, компоненты 2 и 5 одиночные плосковыпуклые линзы, обращенные выпуклос1 ями к диафрагме 7, компонент 3 - одиночный положительный мениск, обращенный выпуклостью к диафрагме 7, компонент 4 - двухлИ11эовь1Й склее.иный положительный. ,

Волновые аберрации дли точек в центре и на .краю поля лежат в пределах 0,25 длинь( волны, т.е. разрешающая способность объект йва определяется дифракцией в пределах всего поля изображения и составляет примерно 400 лин/мм.

Формула иаобре тени я

Репродукционный объектив, содержащий шесть кгомпонентов, из которых три расположены перед диафрагмой, причем положительные второй, третИй и пятый к6ш(он ён1гы выполнеиы в вийе одиночных лиги, отличающийся тем, что, с целью увеличения поля зре ВИЯ и повышения разрешающей способности, первый и шестой компоненты выполнены в виде двусклеенных отрицательных ЛИнз, четвертый компонент в виде двусютееИноЙ положительной линзы, при этом третий компонент - положительный мениск, вьтуКлостью обращейнь1Й к диафрагме.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе .

1,Авторское свидетельство СССР

№ 437997, кл. Q О2 В 11/34, 1972.

2.Авторское свидетельство СССР

№ 226883, кл. Q 02 В 11/32, 1977.