Устройство для напуска среды Советский патент 1984 года по МПК F16K11/00 

Изобретение относится к устройствам, создающим необходимый дозированный поток газа в вакуумную систему.

Известно устройство с поворотным уплотнительным диском, соединенным со шпинделем и прижимающимся пружинами к седлу 1.

Известно также устройство, в котором дозированный напуск обеспечивается изменением кольцевого зазора 2

В таких устройствах изменение .проводимости обеспечивается изменением площади проходного канала и в связи с существенной зависимостью приводи мости от площади сечения невозможно обеспечить тонкое регулирование газового потока.

Целью изобретения является обеспечение заданного закона напуска среды и повышение точности регулирО1 3 вания потока газа.

Для этого в предлагаемом устройстве на -торце поворотного уплотнительного диска выполнен соединенный с каналом, выходящим к источнику подво да (или отвода) среды, радиальный паз, а на торце седла выполнен спиральный паз, пересекающийся с радиальным пазом и соединенный с каналом, выходящим в систему отвода (или соответственно подвода) среды.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство для напуска среды, раз- .

рез; на фиг. 2 - разрез А-А фиг.1; на фиг. 3 - разрез Б-Б фиг.2.

В корпусе 1 на опорах корпуса ввода движения в герметизированный объем 2 расположен шпиндель 3, . ненный с уплотнительным диском 4, имеющим радиальный паз а. Радиаль- ный паз а соединен с отверстием, выходящим к источнику подвода (или отвода) среды, подаваемой в герметизированный объем через штуцер 5. Диск 4 поджимается пружинами 6 через проК ладки 7 и контактирует с седлом 8, йьшолненным из фторопласта и расположе 1ным в расточке корпуса 1. Седло 8 имеет спиральный паз б, ооединенный с отверстием,- выходящим в вакуумную систему г и пересекающий радиальный паз a.

При вращении шпинделя 3, например от электромеханического привода, диск 4 поворачивается. При этом радиальный паз а пересекает спиральный паз б седла 8, и длина его канала от отверстия, соединенного сиисточником газа, до пересечения со спиральным пазом б изменяется в соответстви с законом спирали. Сечение радиального паза а постоянно, и вследствие этого проводимость канала зависит от скорости изменения его длины, что обеспечивает тонк.ое регулирование потока газа. Усилие уплотнения обеспечивается пружинами 6 и прокладками 7.

Фиг.г

6-6

Фиг.д

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПУСКА СРЕДЫ, в корпусе' которого установлен поворотный шпиндель, взаимодействующий с уплотнительным диском, контактирующим с седлом, на торцовых поверн хностях которых выполнены каналы,.сое общенные с каналом подвода или отвода среды, отличающеес я тем, что, с целью повышения точности регулирования потока, на торце поворотного уплотнительного диска вьтол- нен соединенный с каналом, выходящим к источнику подвода (или отвода) среды, радиальный паз, а на торце седла выполнен спиральный паз, пересекающийся с радиальным пазом и сое« диненный с каналом, выходящим в систему 'отвода (или соответственно подвода) среды.(О(ЛО) 01еласN5Ф^/е /