Вентиль Советский патент 1979 года по МПК F16K1/02 

(54) ВЕНТИЛЬ

Изобретение относится к вентилям расхода .газовых сред и может найти широкое применение в областях техники, где требуется плавная регулировка расхода газов, например в газовых системах эпитаксиальных, плазмохимических и диффузионных установок полупроводникового .производства. Известен вентиль, содержащий корпус со съемной крышкой, в котором расположен запор ный орган со йшинделем, приводимой в движение маховиком, взаимодействующим с упругой оболочкой, заполненной жидкостью 1. Известен также другой вентиль, в его корпусе со съемной крышкой расположен запорный орган, взаимодействующий с нажимным винтом через приводной гидравлический узел 21. Известные вентили имеют большие габариты и Слоясную конструкцию. Цель изобретения - уменьшение габаритов к упрощение конструкции вентиля., Для этого в предлагаемом вентиле приводной гвдравлический узел выполнен в виде упругих оболочек с фланцами, установленных на торцах съемной крышки, в которой выполнено калибро ванное . Верхний фланец снабжен с ХВОСТОВИКОМ, входящим в калиброванное отвфстне съемной крышки. На чфтеже изображен описываемый вентиль, продольный разрез. На корпус 1 вентиля сверху установлена крушка 2 с кали ованным отверстием 3 и размещенными на ней упругими оболочками 4 и 5 приводаого гидравлического узла. К оболочке 4, расположешюй вне газового тракта, через крепежш 5Й фланец б и прокладку 7 болтами 8 крепится нажимной фланец 9 с хвостовиком 10, имеющим меньший диаметр, чем комбинированное отверсгае 3. Хвостовик 10, входя в отверс1ие 3, образует в паре с ним капиллярный канал. В хвостовике 10 имеется зарядный канал 11, уплотненный через прокладку 12 винтом 13. Между крепежнь1м фланцем 6 и крышкой 2 установлена возвратная пружина 14. На нажимной фланец 9 опирается нажимной винт 15, расположенный в стакане 16, установленном на крышке 2. В крышке 2 выполнен канал 17, в котором размещен обратный клапан 18.

Упругая оболочка 5 расположена внутри газового тракта и снабжена фланцем 19 с толкателем 20. Толкатель 20 размешен в направляющей шайбе 21 с каналами 22 для прохода газа. Шайба 21 прижата к корпусу 1 седлом 23.

Объем между упругими оболочками 4 и 5, отверстием 3 и каналами 11, 17 заполнен жидкостью 24. Между фланцем 19 и натфавляющей шайбой 21 через шайбу 25 с каналами 2ё для прохода газа установлена возвратная 27. На седле 23 установлена фторопластовая втулка 28 с мембраной 29 и запоршлм элементом 30, в который для жесткости вставлена игла 31, подпружиненная пружиной 32 относительно крышки 33, установленной на втулку 28.

При приложении оператором определенного усилия к нажимному винту 15, который передает его на нажимной фланец 9, нач1шается сжатие упругой оболочки 4 и вытеснение жидкости 24 через капиллярный канал. Количестао жидкости, проходящее через капиллярный канал в единицу времени, находится в прямой зависимости от усилия, приложенного к нажимному винту оператором.

Количество жидкости, проходящее через капиллярный канал в единицу времени при определенном усилии, определяет увеличение объема Зщругой оболочки 5, а следовательно и скорость перемещения толкателя 20 в единицу времени. Таким образом, варьируя значениями размеров цепи, вязкости жидкости и плотности, получаем желаемую скорость перемещения толкателя 20, т.е. желаемую плавность регулирования при данном усилии, создаваемом оператором.

Перемещение хвостовика 10 в отверстиии 3 предотвращает явление облитерации.

Плавно перемещаясь, толкатель 20 давит на запорный элемент 30, отжимая его от седла 23,

в образовавшийся кольцевой зазор проходи регулируемая газовая среда.

При перемещении нажимного винта 15 вверх по резьбе в нижней оболочке 5 под действием возвратных пружин 14, 27 и входного давления газовой среды создается избыточное давление, которое приподнимает обратный клапан 18, и жидкость 24 через канал 17 быстро перетекает в верхнюю упругую оболочку 4, прижимая нажимной фланец 9 к нажимному винту 15. При этом нижняя упругая оболочка 5 сжимается, :а толкатель 20 поднимается.

Прижимаемый к толкателю 20 пружиной 32 запорный злемент 30 также поднимается, перекрывая кольцевой зазор в седле 23. Вентиль запирается.

Формула изобретения

Вентиль, содержащий корпус со съемной крышкой, в котором расположен запорный орган, взаимодействующий с нажимным винтом через приводной гидравлический узел, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов и упрощения конструкции, приводной узел выполнен в виде упругих оболочек с фланцами, установленных на торцах съемной крышки, в крышке вьщолнено калиброванное отверстие, а верхний фланец снабжен хвостовиком, входящим в отверстие крышки.

Источники информации, принятые во внимание при зкспертизе

J3

8иод