Способ измерения давления газа Советский патент 1979 года по МПК G01L21/34 

(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ ГАЗА

I

Изобретение может быть использовано для одновременного измерения общего и парциального давления газа.

Известны способы измерения общего давления с помощью магниторазрядных манометров I.

Известны также способы одновреме.нного определения общего и парциального давления газов, ocHOBaHHtiie на измерении разрядного тока в магнитном манометре 2.

Известным способом можно измерять давление электроотрицательных газов, т. е. газов склонных к образованию отрицательных ионов.

Цель изобретения - одновременное и независимое измерение общего и парциального давления различных компонент газа.

Цель достигается тем, что по предлагаемому способу после зажигания газового разряда уменьщают энергию ионов до величины I-2 эВ, причем парциальное давление газов определяют по току на электродах разрядного промежутка, а полное давление газа определяют по общему разрядному току,

На чертеже представлена схема осуществления предлагаемого способа.

С.хема содержит анод I. катод 2, сетку 3. коллектор 4,.источники 5 и 6 питания и измерительные приборы 7 и 8.

При включении катодного питания между анодом и катодом возникает газовый разряд в скрещенных электрическом и магнитном полях. Токи в соответствуюнхих цепях служат мерой давления.

Сетка 3 находится под потенциалом анода, поэтому все ионы дблжнь управляться катодом 2, так как замедляющее поле между катодом и сеткой равно ускоряющему полю между анодом и катодом. Далее с помощью анодного источника 6 питания меняют потенциал анода, увеличивая энергию положительных ионов, образованных у анода. При этом часть положительных ионов попадает в пространство между сеткой 3 и коллектором 4. Эти ионы двигаются по инерции и на них действует магнитное ноле по закоуу.

лгЛ/- гв (1)

где m - масса иона; V - скорость иона; I заряд;

R -- радиус поворота иона; Виндукция магнитного ноля. С др ч-ой ст8р6нй энергияибна Ш ляётсяравенств6м„ где и - напряжение анодного источника 6 питания. Из формул J1) и (2) следует; что R -|Suy. (3) Задабая разли чнйепо величине напряже ЙЙ Ж 1;ШдГЖ6 м значения пройдёйно брасстСоянйя дляИонов с различной массой. Ионы с определенной массой будут достигать коллектора 4,а дру . не будут. ПЖтШу ЖёТга бТШГОал а1юТСПЯбШГбТГр1 ГТОТОКОБ ПО массе ионов. , . Шисанный способ пбзвбЖ гуЯёЖтить tKbpuCW кбнов Ш тЭкйХ вёлйчйн, которые Мзволяют осуществить раздельную регистрацию компонент газа. При этом уменьШeHйrl;ROpotMйбЙбBпpbйcxбдтttв электрическом поле, которое используется для поддержания газового разряда. Операция разделения ионов по массам происходит за счет уменьшения энергии ионов путем изменения велйчины электрического поля газового разряда. Формула изобретения Способ измерения давления газа, основанный на измерении тока газового разряда в магнитном манометре, отличающийся тем, что, сцелью одновременного и независимого измерения общего и парциального давления различных компонент газа, после заЖйгайи я газового разряда уменыиают энергию ионов до величины 1-2 эВ, причем парциальное давление газов определяют по току наЭлектродах разрядного промежутка, а полное давление газа определяют по обЩему разрядном току. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Дж. Лекк. Измерение давления в ва куумных системах, М., 1966. 2.Авторское свидетепьство СССР № 447591, кл. G 01 L 21/34, 1972.

Saaiii r; ;