Способ изготовления многокамерного электроннооптического преобразователя Советский патент 1979 года по МПК H01J9/42 

1

Изобретение относится к электронной те.хнике, в частности к способам изготовления электроннооптических преобразователей (ЭОП) и усилителей яркости изображения.

Способы изготовления многокамерных ЭОП делятся в основном на две категории: в одном варианте каждую камеру ЭОП обрабатывают в отдельности, в другом - осуществляют одновременную обработку дву.х камер, а потом-следующих пар камер, если количество камер превышает две.

Известен способ изготовления многокамерного ЭОП, в котором каждая камера обрабатывается в отдельности 1.

Поочередная обработка камер ЭОП существенно увеличивает время технологического процесса, кроме того, уменьшается вероятность получения высокочувствительного фотокатода. Это обуслов.тено те.м, что по ряду причин обработку камер производят в одном рабочем объеме и изоляция камер друг от друга практически не применяется, в результате при обработке фотокатода в следующей камере избытки ш,елочных металлов попадают в ранее обработанную камеру и ухудшают чувствительность фотокатода.

Известен также другой способ изготовления многокамерного электроннооптического преобразователя, содержащий обезгаживание прибора на откачном посту, одновременную обработку фотокатодов двух соседних камер,отпайку прибора с откачного поста и поворот промежуточного фотокатода на 180° 2.

Последовательность операций способа при обработке двух камер одновременно следующая: в исходном состоянии обе подложки для фотокатода находятся в одной камере (для чего подвижный узел повернут подложкой в сторону первой камеры, в другом торце которой расположена вторая подложка); прибор напаивают на откачной пост и производят обезгаживание; обрабатывают фотокатод, отпаивают прибор с откачного поста. Далее поворачивают его на 180°, при этом поворотный узел также поворачивается на 180° и фиксируется в этом положении.

Недостатком этого способа изготовления многокамерного ЭОП является относительно малый коэффициент преобразования и большая величина invMa.

Целью изобретения является увеличение коэффициента преобразования и уменьшение шума.

Это достигается тем, что поворот промежуточного фотокатода производят после обработки фотокатодов, затем осуществляют тренировку прибора высоковольтным напряжением при непрерывной откачке, после чего прибор отпаивают с откачного поста.

Предлагаемый способ изготовления прибора обеспечивает необходимые условия его тренировки в рабочем состоянии при непрерывной откачке на откачном посту. Переворот промежуточного узла (фотокатода-люминесцентного экрана) на откачном посту можно произвести различными путями: при обработке фотокатода удерживают его подложку в нерабочем состоянии с помош,ью пружины, которая находится в напряженном состоянии, например, удерживается проволочкой, которую затем пережигают.

Пружина раскручивается и переворачивает подложку на 180°, плотно прижимая ее к снециальному фиксатору. Или переворот подложки с фотокатодом можно осуществить путем перемещения ее с помощью магнита и последующей фиксации. Когда фотокатод установлен в рабочее состояние, производят тренировку прибора высоковольтным напряжением при непрерывной откачке. Тренировку проводят повышенным, по сравнению с рабочим, напряжением питания, так как в этом случае вероятность стабильной работы прибора при рабочем напряжении повышается. Многокамерные электрониооптические преобразователи допускают запас прочности по напряжению 1,2- Дальнейшее увеличение может привес ти к высоковольтному пробою межэлектродны.х промежутков и вызвать, например, прожиг люминесцентного экрана, существенное снижение чувствительпости фотокатода и т. д.

В результате тренировки па откачном посту избыточпые щелочные металл1 1, возможные остаточные загрязнения, окислы и газы, находящиеся в объеме на внутренней стороне колбы либо на электродах прибора, начинают интенсивно перемещаться. Частично они осаждаются на участки прибора.

которые не определяют его электрическую прочность, т. е. на которые не подается напряжение во время тренировки. Большая часть перемещающихся частиц и газов откачивается за пределы объема прибора.

Указанные перераспределения в объеме на внутренней стороне колбы и электродах прибора и определяют уменьшение шума и повышение рабочего напряжения, а следовательно, и коэффициенты преобразования прибора.

Результаты испытаний четырехкамерных усилителей яркости изображения показали, что высоковольтная тренировка на откачном посту позволяет примерно на 20- 30% повысить рабочее напряжение по сравнению е аналогичными приборами, обработанными по известной технологии. Это соответственно обеспечивает увеличение коэффициента преобразования четырехкамерного ЭОП более чем в 10 раз.

Кроме того, высоковольтная тренировка на откачном посту уменьшает на 15- 20/о количество приборов, имеющих шумы на люминесцентных экранах ЭОП.

Формула изобретения

Способ изготовления многокамерного электроннооптического преобразователя, содержап1ий обезгаживание прибора на откачном посту, одновременную обработку фотокатодов двух соседних камер, отпайку прибора с откачного поста и поворот промежуточного фотокатода на 180°. отличающееся тем, что, с целью увеличения коэффициента преобразования и уменьшения шума, поворот промежуточного фотокатода производят после обработки фотокатодов, затем осуществляют тренировку прибора высоковольтным напряжение.м при непрерывной откачке, после чего прибор отпаивают с откачного поста. Источники информации, принятые во В1Шмание при экепертизе

1.Берковский А. Г. и др. Вакуумные фотоэлектронные приборы М., Энергия, 1976, с. 300-301.

2.Патент США ,Ч 3031580, кл. 250-213. опубл. 1962.