Электроннооптическое устройство со скорректированной сферической аберрацией Советский патент 1979 года по МПК H01J29/56 

получение отрицательной сферической аберрации ширины изображения при его формировании в заданном направлении. Для этого следует средний электрод линзы расположить так, чтобы направление, в котором вытянуто его отверстие, совпадало с выбранным направлением фокусировки, а крайние электроды были соединены с полюсом источника питания, знак которого совпадает со знаком заряженных частиц. Средний электрод при этом соединен с точкой делителя.

Следует отметить, что форма отверстия среднего электрода может отступать от прямоугольной.

Пучок заряженных частиц, папример электронов, расположенный на оптической оси Z, попадает под действие поля линзы. Осесимметричная составляющая слабо фокусирует электроны во всех направлениях, и основное воздействие на пучок оказывает квадрупольная составляющая поля, более сильная по своей природе. Она фокусирует пучок в направлении оси X и рассеивает в направлении оси У. Октупольная составляющая при этом дает положительную величину сферической аберрации ширины линейного изображения.

Использование предлагаемого устройства позволяет улучщить качество создаваемого им изображения за счет уменьшения дополнительных аберраций, связанных с неточностью юстировки, более точно выполнить юстировку и значительно облегчить сам процесс юстировки.

Формула изобретения

Электронно-оптическое устройство со скорректированной сферической аберрацией, содержащее по крайней мере три электрода с отверстиями, расположенными соосно с оптической осью, причем средний электрод выполнен с отверстием прямоугольной формы, и схему питания, отличающееся тем, что, с целью уменьшения аберраций, связанных с неточностью юстировки, крайние электроды выполнены с отверстиями круглой формы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Кельман В. М., Явор С. Я. Электронная оптика. Л., «Наука, 1968.

2.Авторское свидетельство СССР № 516316, кл. Н 01J 29/56, 1975.