Катодный узел газоразрядных устройств Советский патент 1979 года по МПК H01J1/20 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к катодным узлам газоразрядных устройствна сх:нове плазмы низкого давления.

В .газоразрядных приборах широко применяются полые катоды, которые, однако, при давлениях в разряде . 10 тор и ниже обладают существенными недостатками: необходимы большие габариты катодного узла и высокое напряжение горения 1.

Известны катодные.узлы для газоразрядных устройств, содержащие ненакаливаемый полый катод и источник магнитного поля, расположенный вокруг катода 2. Постоянное магнитное поле уменьшает напряжение горения .разряда и усиливает эффект полого катода, но и в этом случае не устраняется неоднородность расгфеделения плотности тока по поверхности катода что приводит к неравномерному нагреву участков катода, эрозии его, напылению изоляторов и уменьшению .срока службы. Недостаточно уменьшаются напряжения зажигания и горения разряда.

На чертеже изображен полый катод представляющий собой отрезок цилиндрической трубы 1, ограниченной с одного конца крышкой 2, в которой может быть отверстие для напуска газа. На другом конце трубы установлен фланец 3. На катод надеуы постоянные магнитьа 4, имеющие аксиальную намагниченность, но соседние расположены так, что векторы магнитной индукции направлены вЬЧречно. Расстояния меж0ду -магнитами заданы установочными кольцами 5. Система магнитов закреплена гайкой 6. Такюи образом, в области катода образуется система магнитных ловушек гипе1 болического ти5па, в которых соэданн условия для накопления частиц, т.е. локального увеличения концентрации плазмы в катодной полости.Отсюда рледует повышенная однородность токоотбора с

0 эмиттирующей поверхности и теплового поля в нем. Долговечность катода увеличивается. Удлинениеже траектории электронов приводит к возрастанию вероятности ионизации атомов газа,

5 т,е, к снижению напряжения зажигания и горения.

Формула изобретения Катодный узел газоразрядных устройств, содержащий ненакаливаемый

0

полый катод и источник магнитного поля, расположенный вокруг катода, отличающийс я тем, что, с целью увеличения срока службы, уменьшения напряжения залсигания и горения разряда и улучшения тепловог режима катода, источник магнитного поля выполнен из набора соленоидов или постоянных магнитов, разделенных установочными кольцами и расположенных так, что поле каждого последующего элемента источника- магнит ного ПОЛЯ имеет противоположный знак по отношению к предыдущему.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Москалев Б.И. Разряд с полым катодом. М. , изд. Энергия, 1969, с. 11.

2. Ткаченко В.М., Тютюнин В.В. Разряд с полым катодом в магнитном поле. ЖТФ, 1972, т.42, вып. 1, с. 67-70.

5:5:

У///,