Устройство для напуска газа Советский патент 1979 года по МПК F16K49/00 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПУСКА ГАЗА 36 седлом 3 и подвижной частью 4 штока, выполнена из пъезоэпектрического материала, а к ее концам от источника питания 5 через изолятор 6, электрический контакт 7, Kopnjc 8, крышку 9, прокладку 10 и электрический контакт II приложено постоянное или импульсное напряжение. Трубопровод 12 предназначен для соединения предлагаемого устройства с потребителем. При подаче напряжения к конпам пьезоэлектрической части 1 штока через изолятор 6, электрический контакт 7, корпус 8, крышку 9, прокладку 10 и электрический контакт 11 изменяются ее геометрические размеры, в результате чего между седлом 3 и подвижной частью 4 штока образуется зазор 2. Регулируя подаваемое напряжение, можно изменить величину зазора 2 и следовательно, газового потока, проходящего через зазор 2и трубопровод 12. При отключении напряжения шток безинерцион но возвращается к исходным размерам, и зазор 2 герметично перекрывается. Жесткая фиксация штока в корпусе прибора одновременно обеспечивает замыкание электрической цепи и точную центровку штока относительно седла, что в -свою очередь, обеспечивает точность дозировки напускаемого газа. Было изготовлено устройство для напуска газа, пьезоэлектрическая часть штока которого выполнена из титаната стронция. Диаметр штока равен 8 мм, длина 1ОО мм, длина конусной части 30 мм. При приложении постоянного напряжения О - 2ОО В Длина пьезоэлектри ческой части стержня меняется, что приводит к образованию между штоком и седлом зазора, позволяющего при непрерывной откачке реципиента поддерживать в требуемое двление, которое регулируется в зависимости от величины подаваемого напряжения. 44 Предлагаемое устройство позволяет по величине подаваемого напряжения точно определить и регулировать величину газового потока напускаемого газа. Применение штока, часть которого выполнена из пьезоэлектрического материала, обеспечивает безинерционную регулировку зазора между седлом и штоком, что, в свою очередь, повышает точность и воспроизводимость параметров газового потока, проходяшего через регулируемый за 30(5. , Применение электрического способа регулировки величины газового потока позволяет осуществить дистанционное управление процессом, а применение прог граммного устройства управления питающим напряжением обеспечить автоматическую регулировку газового потока. Формула изобретения Устройствр для напуска газа, содержащее седло, подвижный шток и источник электропитания, отл ичаюшеес я тем, что, с целью повышения точности дозировки напускаемого газа и быстродействия, шток выполнен из двух частей,, причем часть штока, обеспечивающая изменение его длины, выполнена из пьезоэлектрического материала, а к ее концам подсоединены выводы источника питания. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Фролов Е., Русак Ф. А. и др. Вакуумные системы и их элементы. Справочник-атлас под ред. д. т. и. Лубенца В,Д. М., Машиностроение, 1968, с 117-118, 2.Авторское свидетельство СССР № 412428, кл.К 16 К 49/00, 1972. (прототип).

Газ