Способ изготовления пьезоэлектрических устройств Советский патент 1979 года по МПК H03H3/02 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ

Иэо)етение относится к области радиоэлектроники и может использоваться при изготовлении кварцевых резонаторов, пьезоэпектртческих фильтров и других пьезоэлектрических устройств Известен способ изготовления пьезоэлектрических устройств, по которому между пьезоэлементом и основанием корпуса вводят тепловой экраи, например, в виде слюдяного диска, и производят нагрев области соединения стеклянного баллона с основанием с помощью газовой горелки смесью бутан-пропана с кислородом до с последующим охлаждением, после чего проводят вакуумирование через штенгель бал лош 1. Недостатком этого способа является низкая технологичность из-за необходимости введения теплового экрана для защиты пьезоэлемента от воздействия высоких температур, развивающихся при заварке, а также наличия раздельных операций соединения основания с корпусом и вакуумИрования. Известеи способ изготовления пьезоэлектрических устройств, по которому между стеклянными баллоном и основанием корпуса вводят металлическое кольцо, помещают их в вакуумную камеру производят нагрев и выдержку с последующим охлаждением {2}. По этому способу нагрев производят токами высокой частоты. Недостатком этого способа является недостаточно высокая надежность изготовленных пьезоэлектрических устройств из-за действия локального перегрева баллона и основгишя, ведущего к появлению в них микротрещкн. Целью изобретения является повыщение надежности пьезоэлектрических устройств. Это достигается тем, что по предлагаемому способу при изготовлении пьезоэлектрических устройств предварительно проводят окисление поверхности металлического кольца на воэдухе, а перед помещением в вакуумную камеру сдавливают баллон с основанием. Кроме того, величину давления при сдавливании устанавливают 03-0,5 кг/мм, давление в вакуумной камере -Ш -5-10 мм рт. ст. температуру иа 100-150°С ниже температуры размягчения стекла баллона и основания, а время выдержки устанавливают 15-20 мин. 3( По предложенному способу между стеклянным баллоном-и рснованием, выполненным, например, из стекла с -49-2, помещают металлическое кольцо, например, из меди. Кольцо предварительно окисляют на воздухе до закиси CujO. Сдавленные с усилием 0,3-0,5 кг/мм баллон с основанием помещают в камеру ваку умной установки, в которой вьщерживают их в течение 15-20 мин при 480°С. При этом одновременно с соединением основания с баллоном происходит вакуумирование пьезоэлектрического устройства. Микротрещин в баллоне и основании п{Ш изготовлении таким способом не образуется. Предложенный способ обеспечивает высокие надежность пьезоэлектрических устройств при их эксплуатации и процент выхода годных при их изготовлении. Формула изобретения 1. Способ изготовления пьезоэлектрических устройств, при котором между стеклянными баллоном и основанием корпуса вводят металлическое кольцо, помещают их в ваку)гмную камеру, производят нагрев и выдержку с последующим охлаждением, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, предварительно проводят окисление поверхности металлического кольца на воздухе, а перед помещением в вакуумную камеру сдавливают баллон с основанием. 2. Способ по П.1, о т л н ч а ю щ и и с я тем, что величину давления при сдавливании устанавливают ,5 кг/мм, давление в вакуумной камере 10 мм рт. ст. температуру - на 100 -150С ниже температуры размягчения стекла баллона и основания, а время выдержки устанавливают 15-20 мин. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Глюкман Л. И. Пьезоэлектрические кварцевые резонаторы Энергия, Л., 1969, с. 200202. 2.Ярославский М. И. и Др. Конструирование, изготовление и применение кварцевых резонаторов Энергия, М., 1971, с. 91.