Мишень видикона Советский патент 1979 года по МПК H01J29/10 

(54) МЙШЕЙЬ В ВДЖ ОНА При содержании йода 28;5 ат.%, (лааъяка 50% ухудшается инерционнос мишени IB малокадровом режиме. При содержании йода 0,5 ат.%, селена 35 ат.% сущёственнЬ уменьшается светочувствительность и, в частности, чувствительность в УФ области . При содержании .а В5ат.%, мышьяка : 10 ат.% уменьшается срок службы мишеней из-за склонности Материалов к кристаллизации. Толщина nepsoro слоя составляет 0,1-1,0 мкм. Второй слой выполнен из высокоомного материала, например AsSbSj ииМел толдину 0,2-0,5 мкм. Слои приготавливались методом вакуум ного напыления.. . ,, , Интервал толадин второго сло5Ги пределы отношения толщин первого и второго фотопроводящих сйиаез& евени определяйте следующим оЬравом. При отношении толщин первого и,второго слоев меньшем 0,2 или при толшине второго слоя большей 0,5 мкм увеличивается инерционность мишени. При отношении толщин первого и второго слоев большем 5,0 уменьшаетс чувствительность и память мишени при работе в. малокадровом режиме разложе ния . При тотадИне второго слоя меньшей 0,2 мкм уменьшается темновое сбпрЪтивление и растет темновой ток, ухуд шается качество фона заявляемой мишени. . , Мишень имеет более высокую фоточувствительность и меньшую инёрционность. Следует отметить, что ввиду сокращения количества компонент, входящих в фоточувствительный слой на бснове селена, упрощается технология изготовления мишени и, следовательно, воспроизводимость их параметров. Формула изобретения Мишень вйдикона, содержащая нанесенный на сигнальную пластину первый фотопроводящий слой на основе селена с добавкой мышьяка, и нанесен.ный поверх него второй слой из высокоомнбго фотопроводника, о т л и Ч а ю щ и и с я тем, что, с целью снижения инерционности мишени, пербйй слой выполнен из материала, имеющего состав , ат %: Селен 35-85 Мышьяк 10-50 Йод 0,5-28,5, а отношениеТолщин первого и второго слоев лежит в пределах О,2-5,0 при толщине второго слоя 0,2-0,5 мкм, ИСТОЧНИКИ информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авггорское свидетельство СССР № 357623, кл. Н 01 J 29/00, 1974. 2.Авторское свиде1тельство СССР № 414921, кл. Н 01 t 29/10, 1976 г (прототип) .