Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов Советский патент 1979 года по МПК H01J9/12 H01J31/50 

1

Изобретение относится к области эле& тронной техники,в частности к оборудованию для изготовления фотоэлектронных приборов (ФЭП).

Извест ю устройство для изготовления ФЭП построенное по принципу раздельной обработки (метод переноса) фо- токатода в специальном вакуумном объеме и переносе его в другой вакуумный объем для стыковки с остальными элементами прибора и последующей герметизацией LlJНедостатком этого устройства является то, что фотокатоды в готовых приборах имеют малую чувствительность, для восстановления которой до приемлемого уровня требуются немалые усилия.

Известно также устройство для изготовления ФЭП, содержащее вакуумную рабочую камеру, расположенные в ней СООСЦО держатель заготовки фотокатода и подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора и установленный в под-

вижной камере формирования активировоч- ный узеп 2.,

Недостатком данного устройства является то, что при перемещении сформированного фотокатода в колбе прибора, размещенной в другой вакуумной среде, происходит резкое снижение его чувствительности. Для того, чтобы чувствительность фотокатода осталась хотя бы на приемлемом уровне, предъявляются чрезвычайно высокие требования к вакууму в рабочей камере (Ю -10 торр) и спектральному составу остаточных газов. Создание и поддержание .высокого вакуума требует применения высокоэффективных и дорогостоящих средств откачки, а также длительного высокотемпературного отжига значительных объемов, что ае лает процесс изготовления ФЭП малопроизводительным. Однако даже при соблюдении всех технических требований невоз- . можно гарантировать одинаковость парциального состава газов в камере формирова6ния и в рабочей камере, где производится стыковка частей ФЭП. Целью изобретения является упроще. ние технологии изготовления ФЭП. Доставленная цель достигается тем, что держатель заготовки фотокатода н подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора размещены в неподвижной камере формирования, имеющей укреп ленную подвижную перегородку с отвер стием и активировочным узлом, переме щаемую между держателями фотокатода и корпуса фотоэлектронного прибора, причем подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора размещен в обойме, на боковой поверхности которой выполнены отверстия, а также тем, что между подвижной перегородкой и камерой формирования размещен уплотнитель- ный элемент. На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство в положении, когда производится активировка катода; на фиг. 2 - устройство во время герметизации ФЭП. Устройство для изготовления ФЭП содержит вакуумную рабочую камеру 1, .камеру 2 формирования, уплотнительное -кольцо 3 из витона, установленное в пазу камеры 2 формирования, которое герметизирует внутренний объем камеры 2 формирования от основного объема рабочей вакуумной .камеры. В верхнем отсеке камеры 2 формирования расположен держатель фотокатода 4, с которым герметично спаяна подложка под фотокатод 5, а в нижнем отсеке камеры 2 формирования подвижно установлена обойма 6 цилиндрической формы с размещенным в ней держателем корпуса ФЭП 7, по торцу которого в пазу установлено уплотнительное кольцо 8 из индия. Объем обоймы 6 делают такой величи ны, что он позволяет устанавливать держатели ФЭП 7 как для фотоэлементов, так и для электронно-оптических преобра зователей и фотоэлектронных умножителей. Между верхним и нижним отсеками камеры формирования расположена подвижная перегородка 9, соединенная с ме ханизмом перемещения 10. Перегородка 9 имеет форму прямоугольника, в левой части которого сделано круглое отверсти 11, а в правой части углубление 12 для размещения активатора фотокатода 5. Перегородка 9 может находится в дЬух фиксированных положениях; в край7Чнем правом положении (показано пунктиром на фиг. 1), когда через отверстие 11 верхний и нижний отсеки камеры формирования соединены, и в крайнем левомрабочем положении, когда углубление 12 с активатором расположено по оси камеры 2 Армирования, а отсеки герметично отделены друг от друга. Обойма 6 перемещается в направляющих неподвижной плиты 13 под давлением, передающимся штоком14. На боковой поверхности обоймы 6 по диаметру на разных высотах выполнены сквозные отверстия 15 и 16 таким образом, что в исходном положении они соединяют внутренний объем обоймы. 6 и камеру 2 формирования со средой рабочей камеры 1, а по окончании процесса фор- мирования фотокатода 6 перекрываются корпусом неподвижной плиты 13, в пазу которой установлено уплотнительное кольцо 17 из витона. Устройство работает следующим образом. В исходном псзложении перегородка 9 отведена с помощью механизма перемещения 10 в крайнее правое положение, верхний и нижний отсеки камеры 2 формирования соединены и через отверстия 15 и 16 откачиваются одновременно с вакуумной рабочей камерой 1. В таком положении производится прогрев при высокой температуре с одновременным обезгаживанием компонентов формирования фотокатода 5. По достижении вакуума 1О торр нагреватели (на чертежах не обозначены) отключаются и происходит остывание всей конструкции до комнатной температуры. Перегородка 9 механизмом перемещения 1О переводится в рабочее положение. Верхний отсек камеры формирования отделяется от вакуумной рабочей камеры 1 и нижнего отсека. В таком положении производится активировка фотокатода 5. По достижении максимальной чувствительности фо- токатода 5 щток 14 перемещает обойму 6 и держатель корпуса ФЭП 7 в направлении к перегородке 9 до тех пор, пока отверстие 16 не будет перекрыто корпусом плиты 13 и вакуумная среда камеры формирования 2 отделена от вакуумной среды рабочей камеры 1. Затем механизмом перемещения 10 отводят перегородку 9 в крайнее правое положение и, перемещая обойму 6 штоком 14 под давлением, герметичн.о соединяют две прибора - держатель фотокатода

4 С держателем корпуса ФЭП 7, через кольцо 8 (фиг, 2).

Использование данного устройства позволит получать необходимую чувствительность фотокатодов и ее стабильность в вакууме 10 - 10 торр, вместо 10 °- 10 торр в устройствах, пост роенных по принципу переноса, а также вдвое повысить производительность изготовления приборов.

мула изобретения

Фор

1. Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов, содержащее ваку- t умную рабочую камеру, .расположенные в ней соосно держатель заготовки фотокатода и подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора и установлен- , ный в подвижной камере формирования актквировочный узел, отличающееся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления приборов, держатель заготовки фотокатода и подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора размещены ..в неподвижной камере формирования, имеющей укрепленную подвижную перегородку с отверстием и активирово1ным узлом, перемещаемую между держателями фотокатода и корпуса фотоэлектронного прибора, причем подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора размещен в обойме, на боковой стороне которой бьшопнены отверстия.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что между под вижной перегородкой и камерой формирования размещен уплотнительный элемент.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 476621, кл. Н О1 J 9/12, 1872.

2.Патент США № 3353889, кл. 316-17, 1967.

/J

4&W. /