Интерферометр для измерения неплоскостности оптических поверхностей Советский патент 1979 года по МПК G01B9/02 G01B11/30 

(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕПЛОСКОСТНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Пластина 4 с образцовой поверхностью 5 и контролируемая поверхност 15 с изделием 16 образуют интерференционнуго пару. Фотоприемники 10 установлены под штрихами 9 сетки 8 на измери-йвльном столике 7, стоят один против другого под разными штрихами .и попарно соединены по дифференциальной схеме в электронном блоке 13 обработки.

Источник света должен быть монохроматичным и с малой расходимостью луча, например, газовый лазер.

Работает интерферометр следующим образом.

Луч источника света, расширенный коллиматором 2 и отраженный зеркалом 3, проходит интерференционный зазор

Интерференционная, картина в виде полос 17 (см.фиг.2) .благодаря малой расходимости луча передается без искажений на контрольную сетку 8 и экран 11. Свет, прошедший сквозь штрихи 9, попадает на фотоприемники 10 .

Посредством юстировочного столика 6 onejpaTOp обеспечивает примерную .параллельность интерференционных полос 17 штрихам 9.

При.перемещении измерительного столика 7 с помощью микровинта 12, наблюдая картину на Матовом экране ;il по светоиндикаторам 14, определяют моменты симметричного положения фотоприемников:10 относительно интерференционной полосы для каждой пары фотоприемников по соответств.ующим им- направлениям I, Ц, III и т.д Снимают показания микровинта 12 в эти моменты и вычисляют наибольшее искривление интерференционных полос

дХ и расстояние между интерференционнь ми полосами X. Величина неплоскост ности проверяемой поверхности л€ в долях длины Л излучения проверяется по формуле

. .

.

В качестве фотоприемников могут быть использованы, например, координатные фотодиоды.

Формула изобретения

Интерферометр для измерения неплоскостности оптических поверхностей, содержащий источник света и расположенные по ходу световых лучей коллиматор, пластину с образцовой поверхностью, фотоприемники и электронный блок обработки,о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения производительности измерения, он снабжен экраном и контрольной сеткой, расположённой между пластиной с образцовой поверхностью к экраном и выполненной в виде двух прямых

взаимно параллельных прозрачных штрихов на зеркальном покрытии, а фотоприемники расположены один против другого под штрихами и попарно соединены по дифференциальной

схеме.

Источники информации, приняты-е во внимание при экспертизе

1. Клементьева В.Г. Определение формы отражающих поверхностей быстросканирующего интерферометра ФабриПеро. - Оптико-механическая промышленность . 1978, № 1, с.63-65. % ЛУ /

U7

I л ж

т

10

10 Ю

(риг.г