Способ определения ориентации элементов растрового изображения Советский патент 1980 года по МПК H01J37/26 

(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОРИЕНТАЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ РАСТРОВОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ

.. Изобретение относится к электронной мшсросколии и может использоваться для обработ; ки телевизионных изображений. Известны способы определения ориентации растровых изображений путем анализа их фотоизображений с помощью методов голографии . Эти способы не позволяют оценить степень ориентации элементов изображения до того, как получен фотонегатив. Это приводит к потере часто информации в процессе получения изобра :енйя на экране электронно-лучевой трубки (ЭЛТ), а также при фотографировании.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ определения, ориентации элементов растровых изображений f2 включающий получение видеосигнала с последующим измерением его параметров. Способ заключается в том, что анализ растрового изображения осуществляют путем получения фотоизображения и его обработки. Для этого фотонегатив или позитив растрового изображения анализируется с помощью оптигческого дифрактометра. Однако этот способ не позволяет осуществить измерение степени ориентации элементов изображения без фотографирования. Г1ри этом часть информации теряется на стадиях формирования видеосигналом изображения на экране ЭЛТ и далее при фотографировании. Цель изобретения - повышение точности определения ориентации за счет уменьше гия потерь информации. Цель достигается тем, что измеряют частоту модуляции видеосигнала при изменении угла сканирования от О до if. Способ осуществляют следующим образом. При получении растровых изображений в электронном 1упжроскопе электр01шый зонд сканирует по поверхности образца, осуиюствляя развертку, аналогично электронному зонду телевизионной трубки. При этом с образца с помощью детектора снимается видеосигнал, который подается на экран ЭЛТ. Если образец, по которому сканирует электронгплй зонд, состоит из орие1ггированных элементов, то измеряя частоту модуляции видеосигнала снимаемого с детектора, можно судить о том, на сколько

3 716087 ., 4

направление сканирования по строчной разверг-Измерение частоты модуляции видеосигнала

ке совпадает с ориентацией с р е у г1ЩШе-Ш1етВ;ущест с помощью радиотехниментов образца- Это объясняется teM, что моду-ческих средств, например частотомера или по

ляция видеосигнала отображает структуру об-экрану осциллографа. .

разца. Если направление сканирования (в на- jПредлагаемый способ позволяет повысить

правлении строчной развертки, т.е. вдоль стро-точность определения ориентации частиц в обки) совпадает-с ориентацией, то электронный ,разде, обеспечить пол5гченне првьшенного объема

зонд Двигается вдоль структурных элементовинформации о свойствах образцов, образца (по направлению их наибольшей протяженности). В этом случае средами частота 10

Ь|5ЯЩвм В1ще1эс йгнала минимальна. Напротй,Формула изобретения

если сканирование производится в ШпрШлещш,.

перпендикулярном ориентащта, то час-Способ определения ориентации элементов

tOTa видеосигнала максимальна. Таким образом,растрового изображения, включающий получение

если изменять Hanpaj3JiieKHe.fcaHa BaHH i, на- 15видеосигнала с последующим измерением его.

пример вращая образец при неподвижном растрепараметров, отличающийся тем,

или вращая растр при неподвижном образцечто, с целью повышения точности определения

и 6днб18ременно измерять частоту модуляцииориентации за счет уменьшения потерь инфорвидеосигнала, можно наиболее точно определитьмации, измеряйт частоту модуляции видеосигнанаправление ориентации. При таком способе из- 20ла при изменении угла сканирования в диалазомеряется среднее направление ориентациине от О до тт.

элементов изображения. Максимальный угол, ко-;. Источйпси информации,

торый может составить хорда элемента с направГпринятые во внимание при экспертизе

лением строчной развертки, равен тт. Поэтому1. Островск11й И.О. Голография и ее прймевращения растра относительно объе1ста в Диапа- , М., Наука, 1973.

зоне О:ff достаточно дли nepefcpliitiiaf вгсёХ в;оз-1. Tbvey N.K. Ргос 4 th Annual Seanning

можных углов хорд элементов с Тнапрабдашем;Electron Microscope Sympostum, 1971, 51-56

сканирования. -(прототип).