Устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса Советский патент 1980 года по МПК F04D19/04 

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для определения характеристик вакуумных насосов.

Известно устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса, содержащее присоединенный к откачиваемому объему и насосу вертикальный корпус, по оси которого на упругой нити подвешен пробный диск 1.

Недостатками указанного устройства являются инерционность измерений динамически меняющегося давления, зависящая от проводимости зазора между пробным диском и насосом, и невысокая точность измерений, обусловленная удаленностью измерительного устройства (пробного диска) от входа насоса.

Целью изобретения является повыщение точности, снижение инерционности и расширение диапазона измерений.Указанная цель достигается тем, что пробный диск размещен со стороны роторного диска насоса и снабжен лопатками, установленными зеркально относительно лопаток роторного диска. Пробный диск установлен с возможностью осевого перемещения.

-На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2- схема, поясняющая его работу.

Устройство для определения . характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса содержит присоединенный к насосу 1 ,вертикальный корпус 2, по оси которого на упругой нити 3 подвешен пробный диск 4, размещенный со стороны роторного диска 5 насоса 1 и снабженный лопатками 6, установленными зеркально относительно лопаток 7 диска 5 ротора 8. Пробный диск 4 установлен с возможностью осевого перемещения при помощи ввода 9. Насос 1 снабжен приводом 10. Кроме того, на вертикальном корпусе 2 размещены натекатель 11, датчики 12 вакуума, подсветка 13 н смотровое окно 14 для проведения отсчета углов поворота пробного диска 4.

Устройство- работает следующим образом.

При достижении предварительного вакуума в объеме корпуса 2, включается привод 10 насоса 1, который приводит во вращение ротор 8 с дисками 5. После выхода на заданный уровень вакуума пробный диск 4 с помощью ввода 9 приближается к диску 5 на определенное расстояние. Молекулы газа, отраженньте диском 5 обратно в объем корпуса 12 и получившие при соударении дополнительный импульс количества движения (показаны на фиг. 2 стрелками), соуда