Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1987 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен турбомолекулярный насос, содержащий вращающийся ротор 1.

Однако в известном насосе скорость откачки ограничена.

Известен также турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и раз- мещен1 ые в нем ротор с лопаточными дисками и установленный перед ротором лопаточный направляющий аппарат |2.

Быстрота действия известного насоса находится в прямой зависимости от величины относительной скорости ротора к молекулам откачиваемого газа, причем опреде.- ляющей является относительная скорость первого роторного диска. В известной конструкции увеличение скорости ротора относительно хаотически движущихся молекул откачиваемого газа достигается за счет увеличения скорости вращения ротора, т.е. путем увеличения окружной скорости роторных дисков, которая ограничена прочностными характеристиками материала ротора.

Целью изобретения является повыщение быстроты откачки.

Указанная цель достигается тем, что направляющий аппарат снабжен автономным приводом встречного по отнощению к ротору вращения, а его лопатки размещены зеркально относительно лопаток дисков ротора.

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенные в нем

ротор 2 с лопаточными дисками 3 и установленный перед ротором лопаточный направляющий аппарат 4, снабженный автономным приводом 5 встречного по отнощению к ротору 2 вращения, а его лопатки б размещены зеркально относительно лопаток дисков 3 ротора 2.

При пуске насоса диски 3 и направляющий аппарат 4 приводятся во вращательное движение во встречных направлениях. При этом часть молекул откачиваемого газа, не сталкиваясь с лопатками 6, проходит к первому роторному диску 3, а часть молекул,, сталкиваясь с направляющим аппаратом 4, получает приращение скорости в направлении его движения, и, следовательно, приведенный вектор скоростей молекул будет направлен в противоположном направлении вращению роторного диска 3, в результате чего относительная скорость роторного диска 3 резко увеличивается вплоть до величины, равной сумме средних скоростей ротора 2 и отраженных молекул. При этом благодаря тангенциальному расположению направляющего диска молекулам газа сообщается дополнительное движение в периферийную зону ротора 2, т.е. в зону максимальных окружных скоростей, что также позволяет увеличить величину средней (расчетной) окружной скорости ротора 2 и, таким образом, увеличивается величина относительной скорости.

Увеличение относительной скорости приводит к увеличению быстроты действия насоса.