Устройство для контроля оптической однородности образца Советский патент 1980 года по МПК G01N21/46 G02B27/38 

1

Изобретение относится к области оптического приборостроения и может быть использовано в процессе контроля качества оптических изделий.

Известны устройства для контроля оптической однородности образца, содержащие интерферометры ,1.

Однако эти устройства требуют использования высококачественных оптических элементов и специальной настройки.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для контроля оптической однородности образца, содержащее источник света, точечную диафрагму, коллиматор и телескопическую систему .

Исследуемый образец помещается между коллиматором и телескопической системой. Контроль осуществляется по дифракционному изображению точки после прохождения излучения через образец.

Недостатком известного устройства является недостаточно высокая точность контроля при определении локализации оптических неоднородностей образца.- .

Цель изобретения - повышение точности контроля оптической однородности образца.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для контроля оптической однородности образца между коллиматором

и телескопической системой установлена дополнительная деЦентр ированная телескопическая система, снабженная выпуклым и полупрозрачным вогнутым зеркалами, между которыми noMenieH образец, причем диаметр выпуклого зеркала меньШе поперечного размера обра-зца.

На чертеже представлена принципиальная схема устройства для контроля оптической однородности образца.

Устройство содержит источник света 1, точечную диафрагму 2, помещенную в фокусе объектива коллиматора 3, исследуемого образца 4, помещенного между выпуклым зеркалом 5, в плоскости которого установлена диафрагма 6 и вогнутым полупрозрачным зеркалом 7. Диаметр выпуклого зеркала 5 меньше поперечного размера исследуемого образца 4. Указанные зеркала 5 и 7 образуют между собой дополнительную децентрированную телескопическую систему, при этом отношение их диаметров соответствует коэффициенту увеличения этой системы. Вогнутое полупрозрачное зеркало 7 наносится на поверхность мениска 8. На выходе устройства имеется телескопическая система 9.

Устройство работает следующим образом: источник света освещает точечную диафрагму2, откоторй свет проходит в

объектив коллиматора 3 и затем дифрагирует на кольцевом отве.рстии, образованном оправой зеркала 5 и диафрагмой 6. Далее свет проходит через образец 4, вбгнутое полупрозрачное зеркало 7 и, частично отражаясь от него, возвращается обратно.

Часть излучения проходит через мениск 8, причем, вследствие децентрирования дополнительной телескопической системы свет после каждого ирохол 4дения выходит под различными углами к оптической оси, и попадает в телескопическую систему 9. Таким образом, образующиеся при каждом прохождении света отдельные дифракционные изображения каждого прохода можно наблюдать одновременно. Измеряя расстояния между дифракционньщи максимумами и сравнивая их с теоретически полученными значениями, можно определить искомую величину оптической неоднородности, т. е. размеры и форма каждого дифракционного изображения дают крличественную характеристику оптической однородности исследуемого образца. Многократное прохождение света через поперечное сечение исследуемого образца между зеркалами дополнительной телескопической системы приводит к эффекту увеличения размера изображения, что приводит к повышению точности контроля и определению мест локализации нарушений однородности.

Предлагаемое устройство по сравнению с известными устройствами позволяет повысить точность И оперативность контроля качества оптических изделий, в том числе крупногабаритных, при этом не требуются применение высококачественных оптических элементов и повышается помехоустойчивость измерений.

Формула изобретения

Устройство для контроля оптической однородности образца, содержащее источник света, точечнзю диафрагму, коллиматор и телескойическую систему, отличающееся тем, что, с целью повышенияточности контроля, между коллиматором и телескопической системой установлена дополнительная децентрированная телескопическая система, снабженная выпуклым и полупрозрачным вогнутым зеркалами, между которыми помещен образец, причем диаметр выпуклого зеркала меньше поперечного размера образца.

Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1.Ильин Р. С. и др. Лабораторные оптические приборы, М., «Машиностроение, 1966, с. 174-176.

2.Афанасьев Б. А. Оптические измерения М., 1961, с. 114-115 (прототип).