Интерферометр для контроля вогнутых эллипсоидов вращения Советский патент 1984 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

00

ел

со

ч1 Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для контроля качества оптических систем, в частности тэогнутых эллипсоидов вращения. Известен интерферометр для контроля оптических поверхностей, содержащий телескопическую осветитель ную систему, плоскопараллельный све тоделитель, микрообъектив и апланат ческий мениск, одна из поверхностей которого служит для образования фронта сравнения, и микрообъектив в ветви наблюдения 13Недостатками данного интерферрме ра являются высокие требования и трудоемкость юстировки, а также бол шое число паразитных бликов, снижаю щих контраст интерференционной картины, а следовательно, и точность измерений. Кроме того, для контроля сферических поверхностей требуется дополнительное специальное дорогостоящее оборудование. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является интерферометр для контроля вогнутых эллипсоидов вращения, содержащий мо нохроматический источник света, оптическую систему, формирующую точечное изображение источника света, и светоделитель, делящий световой пучок на две ветви, зеркало с эталонной поверхностью, установленное в одной ветви, и наблюдательную сиетему 2. Известный интерферометр может применяться для контроля вогнутых эллипсоидов вращения, однако при больших эксцентриситетах эллипсоидов требуется образцовая сферическая поверхность очень большого диаметра Кроме того, контрольная схема получается больших габаритов. Оба указанных, недостатка и отсутствие диафрагмы в плоскости точечного изображения источника света значительно понижают точность контроля, так как система получается очень, сложной и крупногабаритной, а точка недостаточно высокого .качества. Цель изобретения - повышение точности контроля. Поставленная цель достигается тем, что интерферометр для контроля вогнутых эллипсоидов вращения, содержащий монохроматический источник света, оптическую систему, формирующую точечное изображение источника света, и светоделитель, делящий световой пучок на две ветви, зеркало с эталонной поверхностью, установленное в одной ветви, и наблюдательную систему, снабжен последовательно расположенньв и за оп ической системой диафрагмой, установленной в плоскости точечного изображения источника света,и выпуклым сферическим зеркалом с центральным отверстием, сферическое зеркало установлено так, что центр его кривизны и диафрагма находятся с одной стороны относительно выпуклой поверхности этого зеркала. На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для контроля вогнутых эллипсоидов вращения. Интерферометр содержит монохроматический источник 1 света, оптическую систему 2, формирующую точечное изображение источника света, светоделитель 3, делящий световой пучок на две ветви, зеркало 4 с эталонной поверхностью, установленное в одной ветви, последовательно расположенные за оптической системой диафрагму 5, установленную в плоскости точечного изображения источника света, выпуклое сферическое зеркало 6 с центральным отверстием и наблюдательную систему 1{. Сферическое зеркало 6 установлено так, что центр его кривизны и диафрагма 5 находятся с одной стороны относительно выпуклой поверхности этого зеркалаi Интерферометр работает следующи образом. Пучок света от монохроматического источника 1 света собирается в точку оптической системой 2 (предварительно разделенный на две ветви - рабочую и эталонную - светоделителем 3). Пучок света в эталонной ветви отражается от эталонной поверхности зеркала 4 и проходит через светоделитель 3. Пучок света в рабочей ветви собирается в точку в плоскости диафрагмы 5. Точечным изображением монохроматического источника 1 света засвечивается контролируемый эллипсоид 8. Фокальная плоскость более короткого фокуса эллипсоида 8 совмещена с точечным изображением монохроматического источника 1 света, т.е. с

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОГНУТЫХ ЭЛЛИПСОДЦОВ ВРАЩЕНИЯ., содер жащий монохроматический источник , света, оптическую систему, формируютщую точечное изображение источника света, светоделитель, делящий световой пучок на две ветви, зеркало с эталонной поверхностью, установленное в одной ветви, и наблюдательную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен последовательно расположенными за оптической системой диафрагмой, установленной в плоскости точечного изображения источника света, и выпуклым сферическим зеркалом с центральным отверстием, сферическое зеркало установлено так, что центр его кривизны и диафрагма находятся с одной стороны относительно выпук(О лой поверхности этого зеркала. с