Устройство для контроля микросхем Советский патент 1980 года по МПК G01R31/308 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ МИКРОСХЕМ

Изобретение относится к устройствам нераорушающсго контроля и может быть применено в устройствах инфракрасного радиометрического контроля микросхем. Известно устройство для контроля интегральных , содержащее носитель информации, связанный с первыми входами блока сравнения и блоков задания режимов питания, выходы которых подсоединены к интегральной схеме, .инфракрасный радиометр, установленный над узлом перемещений платы с интеграл ной схемой и подсоединенный ко второму входу блока сравнения, выход которого подключен к блоку индикации и блоку вьь дачи сигналов сортировки и отбраковки и воздухопроводу для охлаждения платы. В его состав входит блок формирования алгоритма разогрева участков интегральной схемы, выход которого через ключ ручных команд связан с носителем инфор мации, и синхронизатор перемещений носителя информации, закрепленный на вал привола у;чтп перемещений платы pQ. Устройство обладает недостаточным быстродействием регистрации префектов, содержит механические исполнительные узлы и детали. Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для контроля микросхем, содержащее последовательно соединенные радиометр, селективный усилитель и детектор . Недостатком этого устройства является низкая точность его работы. Целью изобретения является повышение точности измерений. Эта цель достигается тем, что в предложенное устройство введены последовательно соединенные амгшитудный селектор, первый счетчик, первый дешифратор, второй счетчик, второй дешифратор, блок совпадения и индикатор. Вход амплитудного селектора подключен к выходу детектора, второй выход - ко второму входу блока совпадения, соединенного третьими входами с выходами первог-о дешифратора. , Структурная схема устройства представ лена на чертеже. Устройство содержит радиометр 1, селективный усилитель 2, детектор 3, амплитудный селектор 4, счетчик 5, дешифратор 6, блок совпаде шя 7, индикатор 8, счетчик 9, и дешифратор 10, Устройство работает следуюшим образом. Радиометр 1 последовательно проходит над каждым рядом контролируемых элемен тов и преобразует тепловое излучение каждого элемента в электрический сигнал поступающий на селективный усилитель 2, который обеспечивает увеличение пикового значения рабочих сигналов до необходимой величины. Усиленные сигналы поступают на детектор 3, а с его выхода на вход амплитудного селектора 4, выполняющего две функции. Селектор преобразует все электрические импульсы, поступающие с выхода детектора 3, в нормальные прямоугольные сигналы с соответствующим постоянным пиковым значением, необходимым для четкого срабатывания счетчика 5, и из всей совокупности поступивших на его вход сигналов . вьщеляет те импульсы, пиковые значения К(торых выкодит за пределы зоны, ограниченной интервалом номинальных напряг жений, соответствующих годным ёлемента Вьщеяенные импульсы, соответствующие аномальным элементам, подаются на вход блока совпадения 7. Счетчик 5 с коэффициентом пересчета, равнымчислу контролируемых элементов, содержащихся в каждом ряду, соединен с дешифратором 6, преобразующим текущий код счетчика 5 в параллельный код. При - этом каждому состоянию счетчика 5 -eSQfBeTCfByeTналичие сигнала на определенном выходе дешифратора 6. Вькод дешифратора 6, соответствующий коду числа, соединен со входом счетчика 9 с коэффициентом пересчета, равным числу рядов контролируемых элементов, Дешифратор 1О аналогично дешифратору б преобразует текущий код счетчика 9 в параллельный код, подающийся на блок совпадения 7. Таким образом, в процессе сканирова ийя рядов контролируемых элементов в каждый текущий момент времени код в счётчике 9 соответствует номеру сканируемого ряда, а код в счетчике 5 - ном ру тгОгоглемснта в этом ряду, над к6орым в данный момент находится термодатчик радиометра 1. Сигналы с дешифраторов б и 10 поступают на блок совпадения 7, на который также поступает сигнал о наличии ано-. мального элемента с селектора 4. Сигналы на выходе блока совпадения 7 появляются лишь при наличии сигнала с выхода селектора 4. При этом состояние элемента блока совпадения 7, на выходах которых появляются сигналы, зависят от текущего состояния счетчиков 5 и 9, а следовательно, и от порядкового номера того элемента (во всей группе контролируемых элементов), который вызвал на выходе радиометра 1 аномальный сигнал. Каждый элемент. блока совпадения 7 связан со своим индикатором 8. Таким образом, по изменению состояния соответствующих :индикаторов можно судить о порядковом номере того контролируемого .элемента, который вызвал аномальный сигнал. Применение предлагаемого устройства позволяет автоматизировать процесс ре- гистрации дефектов при контроле блоков с интегральными микросхемами с помощью инфракрасного радиометра. Формула изобретения Устройство для контроля микросхем, содержащее последовательно соединенные радиометр, селективный усилитель и детектор, отли.чающ.ееся тем, что, с целью повышения т.очности работы уст-т ройства, в него введены последовательно соединенные амплитудный селектор, первый счетчик, первый дешифратор, второй счетчик,г второй дешифратор, блок совпадения и индикатор, вход амплитудного cieneKTOpa подключен к выходу детектора, второй вьрсод - ко второму входу блока совпадения, соединенного третьими входами с выходами первого дешифратора. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР №419903, кл. Q 06 F 15/46, 1972. 2,Динилин Н. С., Банников Ю, А., Улитенко В. П. Неразрушающий контроль в радиоэлектронике М., Знание, серия Электроника и связь , 1974, с. 29, вып. 7 (прототип).