Устройство для контроля микросхем Советский патент 1981 года по МПК G01R31/308 G01R31/311 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ МИКРОСХЕМ

I

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано для неразрушающего контроля микросхем.

Наиболее близким пс технической сущности к предлагаемому является устройство для контроля микросхем, содержащее сферические зеркала, модулятрр с электроприводом, фотрдетектор, селективный усилитель, детектор и блок регистрации 1.

Недостаток этого устройства - низкая достоверность контроля.

Цель изобретения - повышение достоверности контроля.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство, содержащее сферические зеркала, модулятор с электроприводом, последовательно соединенные фотодётектор, селективный усилитель и детектор, блок регистрации, введены блок индикации, амплитудный селектор, электронные ключи, сумматор, источник опорного напряжения, одновибратор, причем выход детектора соединен с первым входом первого электронного ключа, входом блока индикации и входом амплитудного селектора, выход которого соединен

со входом одновибратора, первый выход которого соединен с первым входом второго электронного ключа, второй вход которого соединен с выходом источника опорного напряжения, вход которого соединен со вторым выходом одновибратора и вторым входом первого электронного ключа, выход которого соединен с первым входом сумматора, второй вход которого соединен с выходом второго электронного ключа, а выход - со входом блока регистрации, при этом источник опорного напряжения содержит источник стабилизированного напряжения, делитель напряжения, электронные ключи, элемент суммирования, счетчик, дешифратора состояний, причем вход счетчика соединен со входом источника опорного напряжения, а три выхода счетчика соединены соответственно с тремя входами дещифратора состояний, три выхода которого соединены соответственно с первыми входами трех электронных ключей, вторые входы которых через соответствующие выходы делителя напряжения и его общий вход соединены с источником стабилизированного напряжения, а выходы соединены соответственно с тремя входами элемента суммирования, выход которого соединен с выходом источника опорного напряжения.

На фиг. 1 представлена функциональная схема устройства; на фиг. 2 - функциональная схема источника опорного напряжения.

Устройство содержит сферические зеркала 1, одновибратор 2, модулятор 3 с электроприводом 4, фотодетектор 5, селективный усилитель 6, детектор 7, блок 8 индикации, амплитудный селектор 9, электронные ключи 10 и 11, блок 12 регистрации, сумматор 13 и источник 14 опорного напряжения, содержащий элемент 15 суммирования, источник 16 стабилизированного напряжения, делитель 17 напряжения, электронные ключи 18-20, счетчик 21 и дешифратор 22 состояний..

Устройство работает следующим образом.

Сферические зеркала 1 последовательно проходят над каждым рядом контролируемых микросхем 23, преобразуя ее тепловое излучение в электрический импульс. Преобразованная модулятором 3 совокупность электрических импульсов с выхода фотодетектора 5 поступает на селективный усилитель 6, который обеспечивает усиление пикового значения рабочих сигналов до необходимой величины. Усиленные сигналы поступают на детектор 7, где преобразуются в серию остроконечных импульсов напряжения по числу контролируемых микросхем 23. В интервале между остроконечными импульсами имеются минимумы выходного напряжения детектора 7, которые по времени своего появления соответствуют нахождению сферических зеркал 1 над интервалами между контролируемыми микросхемами 23.

Амплитудный селектор 9 срабатывает при уменьшении выходного напряжения детектора 7 до минимального значения и вырабатывает выходной сигнал, поступающий на вход одновибратора 2, который, в свою очередь, вырабатывает импульс длительностью Ti. Этот импульс вырабатывается на входе, связанном с управляющим входом электронного ключа 11, который при этом открывается. На втором выходе одновибратора 2, связанном с управляющим входом электронного ключа 10, на время Ti .сигнал отсутствует, и электронный ключ 10 на это время запирается, прекращая подачу на вход сумматора 13 текущего напряжения с выхода детектора 7, при этом электронный ключ 11 передает на сумматор 13 опорное напряжение с выхода источника 14 опорного напряжения.

Источник 16 стабилизированного напряжения вырабатывает некоторое стабильное по величине постоянное напряжение, равное наибольшему из набора опорных напряжений поступающее на делитель 17 напряжения, на различных выходах которого образовываются различные требуемые величины опорных напряжений. Поскольку на вход

счетчика 21, поступают импульсные сигналы с одного из выходов одновибратора 2, то счетчик 21 под действием этих сигналов занимает поочередно каждое из своих возможных состояний. По числу которых имеется число выходов дешифратора 22 состояний, подключенных ко входам управления электронных ключей 18-20. Поэтому в зависимости от числа импульсов, поступивших на счетчик 21, в каждый момент времени имеется сигнал лишь на одном из выходов дешифратора 22 состояний, и открытым будет лишь тот из электронных ключей 18-20, который соединен с данным выходом дешифратора 22 состояний, а на элемент 15 суммирования, а следовательно и на выход источника 14 опорного напряжения, поступает напряжение лишь с того выхода делителя 17 напряжения, который соединен с открытым в данный момент электронным ключом 18, 19 или 20. Это напряжение поступает на блок 2 регистрации, в результате чего осуществляется регистрация данного уровня опорного напряжения.

По истечении после отпирания электронного ключа 11 времени T|, достаточного для надежной фиксации уровня опорного напряжения, одновибратор 2 прекращает импульс на выходе, связанном с электронным ключом 11 и вырабатывается сигнал на выходе, связанном с электронным ключом 10. Электронный ключ 11 запирается и прекращает подачу на сумматор 13 напряжения с источника 14 ойорного напряжения. Электронный ключ 10 открывается и вновь подает на сумг матор 13 напряжение с выхода детектора 7. Одновременно с отпиранием электронного ключа 10 сигнал с соответствующего выхода одновибратора 2 поступает на счетчик 21 и переводит его в очередное состояние, в результате чего источник 14 опорного напряжения начинает вырабатывать на своем выходе другое значение опорного напряжения. Этот процесс периодически повторяется, вследствие чего блоком 12 регистрации в интервале между остроконечными импульсами, соответствующими излучению контролируемых микросхем 23, фиксируются короткие прямоугольные импульсы, соответствующие различным фиксированным уровням опорного напряжения. При этом целесообразно, чтобы уровни опорного напряжения отличались между собой на некоторую постоянную величину, равную величине первого (минимального) из уровней. После последовательной фиксации всех уровней из набора опорных напряжений по .очередному

0 сигналу с одновибратора 2 счетчик 21 переполняется, возвращается в исходное состояние, которому соответствует минимальный из всех уровней, уровень опорного напряжения и цикл контроля повторяется.

Применение предлагаемого устройства

позволяет повысить достоверность контроля интегральных микросхем за счет определения абсолютных уровней ИК-радиации этих микросхем.

Формула изобретения

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Устройство для контроля с использованием ИК-излучения, серия «Электроника и связь, изд. «Знание, вып. 7, 1974, с. 29 (прототип).

(pL/S.f