Электронный микроскоп Советский патент 1948 года по МПК H01J37/285 

Предметом настоящего изобретения является конструкция электрон чего микроскопа с увеличением в лнадиать пять тысяч раз, с примеиеипем магнитных линз я диафрагмы, расположенной на пути электронного луча от ::).ieKTpoHHoii пушки до ко)1денсоп;Юй линзы.

Особенность настоящегс изоОретеннн зак/иочается fi KOiicTpyKiUiH раздвижной диафрагмы, позволяющей облегчить 1осгнро14ку микроскопа путем изменения наклона оси электронного пучка (ггносительж) оси микроскопа. Такая конструкция позволяет также изменять :.) щироких преде.чах ансргур}- осветитатьной

С}тцн()С1Ь и об)етения гюясняется чертежом. На фщ-. 1 изображен обЩ;;11 вид .Кктронного микроскопа; на фиг. 2 раздви 1 ная диафрагма; tia (|)иг. 3 схема конденсорнон .линЗЬ.

Осветительная система мккроскопа состоит из э.чектроннон пушки / и ко}1де11сорной линзы 2. Электронная пушка выполнена так, что нить катода при noMtniui фарфорп-Ю) рукоятки может быть точно установ.(ена относительно отверстия, управ.чяющего электрода, как вдоль плоскости этого отверстия, так и по лини;,, нс;Г1енл..1Я11Н1;й этой плосKOCT)i.

Конструкция раздв 1жноГ| диафрагмы, расположенной перед конденсорной линзой 2. поз .юляет ii.ianно изменят величину ГТг.срстия ог 0,1 до 3 мм. Центровка ;uia(jiparMbi производится при ;1гмо1н,); Д15ух гибких сильфоновых соо;1инсн1 Й. ;i;)3i5oляюпднх задавйП} ;iita(jjpar e к)естовые ,я

На поверхность днафрагМы /Л. ciri;)aiueHHy.4- i э,1ектро) пччнкг. нанссится ф.;1кюресцнру10 Г1;п; c.uni. При по.1о;ни .зеркала 14 и перескопическо; с;1стем)1 /5, чсре. смс.троBoii люк (. можно наблюдать за пучком, выходящим 1,з пушки и .а pacKjibri ;иьи})ра1мы. UiujjpaMi-; 17 и JS оГн;зпаче11Ы р}Киятка правления диаф1)агмо1 ; и си.чьфон.

После 1чонденсорпо| 1 .тинзь; (фиг. 1) на пут луча находится камера 3 , i; KOTopoii П4)едусмотрен Л|Пл -4 д.тя сме1гы образц(Ч5.

Предметный столик м;1кроскона, 11ах()дянг1п1ся в KaMcjie 3. заде.т.ш в полк;сные накопечн;п 1 объсктив-юГ: линзы J и позволяет г.существлять перемещение объекта в твух направлениях при 110МОН1И рукояток.

Наблюдение промежутомноге) ii3oбраж.ения производится через люк 6.

199