Вакуумметр Советский патент 1980 года по МПК G01L21/30 

(54) ВАКУУММЕТР

йзобретенеие относится к контролбно-измерительной технике и может найти применение в приборах для измерения вакуума. Известны вакуумметры, содержащие , ионизационный манометрический преобразователь с вольфрамовым катодом, стабилизатор тона эмиссии, усилитель ионного тока и измерительный прибор. Абсолютное давление, которое измеряет прибор, определяется величиной ионного тока 1 . Эти приборы не позволяют измерить парциальное давление газов .в исследу емом объеме, например парциальное дав ление кислорода, что ограничивает диапазон измеряемых величин у известного п ибора е Цель изобретения состоит в устране нии указанного недостатка. Эта цель достигается тем, что известный йрибор снабжен источником опорного напряжения, подключенного к балластному сопротивлению в цепи нака ла через выпрямительный мост и дополнительный измерительный прибор. На чертеже изображена схема прибо Вакуумметр содержит стабилизатор тбка эмиссии 1, усилитель ионного тока 2, измерительный прибор-ионного тока 3, манометрический ионизационный преобразователь 4, балластное сопротивление 5, выпрямительный мост 6, источник опорного напряжения 7 и измерительный прибор 8. Прибор действует следующим образом. При включении вакуумметра в его цепи в.озникает ионный ток, 1 оторый создается эмиссией с катода. Стабилизатор тока эмиссии осуществляет регулирование тока накала, таким образом, чтобы ток эмиссии был ПОСТОЯННЬ1М. При этом ионный ток в лампе зависит от глубины вакуума в камере, с которой сообщается ионизационная лампа. Ионный ток усиливается усилителем 2 и подается на измерительный прибор, по показаниям которого судят о глубине измеряемого вакуума. Вследствие изменения парциального давления кислорода изменяется и его количество, адсорбированное на поверх-ности вольфрамового катода ионизационной лампы, что приводит к изменению работы выхода электронов. Стабилизатор тока эмиссии автоматически изме- .

Гнет ток накала, поддерживая тем самым ток эмиссии постоянным. При изменейи тока накала изменяется падение напряжения--на балластнс сопротивлеНИИ/что приведет к отклонению стрелки дополнительного измерительного прибора, через который это падение напряЯсёняя сравнивается с опорной величиной. Величина отклонения и будет мерой измеряемого парциального давления кислорода.

. ,

ионизационных мансметрическ1а пр ёо ёГразователей исполЪзуются лампы типа ПМИ-2, ЛМЗ-2. Величина балJiaicTHord сопротивления может быть выбрана любой в пределах от 5 до 30% ьт нояинального значения сопротявлеЖ Ж Д качестве источника ; опорного напряжения может быть использован любой стабилизированный источник напряжения от 10 до 50 вольт. В качестве дополнительного измеритель1НОГО прибора используется микроампёрметр, предварительно отградуирован,зый по парциальному давлению кислорода в Газовой смеси.

Формула изобретения

Вакуумметр, содержащий манометрический преобразователь, стабилизатор тока эмиссии, усилитель и измеритель ионного тока, отличающийс я тем, что, с целью расширения диапазона измерений, он снабжен источником опорного Напряжения, подключенным к балластному сопротивлению в цепи накала через выпрямительный мост 5 и дополнительный измерительный прибор.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. ВосТров Г. А. и Розанов Л. Н. 0 Вакуумметры, Машиностроение, Л,, 1967, с. 150 и 157.