Устройство для измерения давления в двухэлектродном электровакуумном приборе Советский патент 1980 года по МПК H01J9/42 

Пить прирашение тока, функционально связанное с давлением газа. Недостатками известного устройства являются ограниченность нижнего предела измерения давления на уровне 10 Па. Указанные недостатки объясняются разбросом электронного тока от образца к обраэ иу у диодов, который обусловлен неидентичностью межэпектродных расстояний и эффективной эмиттируюшей поверхности катодов. Цепь изобретения - расширение диапазона измерений в сторону низких давлений в диоде. Эта цепь достигается тем, что устройство дпя измерения давления в эпектро вакуумном приборе содержит генератор га монического напряжения, выход которого подключен к аноду прибора, а вход - к вы ходу генератора импульсов, и схему контропя скважности импульсов, вход которой подключен к выходу генератора гармонического напряжения. Вход схилы регистра ции среднего тока может быть подключен к выходу схемы контроля скважности импульсов ипи к катоду электровакуумного прибора. Сущность изобретения поясняется чертежом, на фиг. 1 которого показана схем включения диода, а на фиг. 2 - распределение потенциалов в электровакуумном приборе (диоде), поясняющее динамику накопления ионов. Устройство содержит генератор импупь сов 1, соединенный своим выходом с генератором гармонического напряжения 2, который соединен с анодом электровакуум ного прибора (электронной лампы) 3 и со входом схемы контроля скважности 4, схема измерения среднего тока 5 соединя ется через ключ 6 либо с выходом схемы контроля скважности, либо с катодом эпектронной пампы. На фиг 2 показана несимметричность положительного (кривая А) и отрицательного (кривая Б) распределения потенциалов в межэлектродном промежутке лампы при подаче на анод эпектронной лампы га1 «онического напряжения UQ, которая приводит к тому, что на положительный ион действует в области 7 сила, напра&ленная к катоду, а в области 8 - к аноду. Таким образом происходит колебание некоторой части ионов из области 7 в область 8 и обратно. Количество таких ионов зависит от длительности импульсов напряжения и будет изменяться от О (при коротких импульсах) до некоторого предела, аызваннс(го насьпцением межэлектродного промежутка. Количество ионов обусловливает ток через прибор. На первом этапе генератор импульсов 1 модулирует генератор гармонического напряж&ния 2 короткими импульсами. В этом случае на анод эпектронной лампы 3 и на вход схемы контроля скважности 4 подается периодическая последовательность радиоимпульсов короткой длительности. Выходной ток схемы контроля скважности пропорционален скважности следования радиоимпульсов. Подключение с помощью ключа 6 входа схемы измерения среднего тока 5 к выходу схемы контроля скважности позволяет установить необходимую скважность путем регулировки длительности импульсов генератора 1, а к катоду лампы 3 - измерить средний ток через диод. На втором этапе измерений генератор импульсов 1 модулирует генератор гармонического напряжения 2 длинными импульсами, которые обусловливают накопление в диоде положительного пространственного заряда ионов. Аналогичными переключениями, как и на первом этапе,контролируется и устанавливается та же скважность радиоимпульсов, что и в режиме коротких импульсов, и измеряется средний ток через диод. Разность средних токов в режиме длинных и коротких радиоимпульсов, позволяет оп - ределить давление в диоде. Благодаря предлагаемому техническому решению нижний предел диапазона измерения давления в диоде с подогревным катодом достигает величины порядка 1,5-10 ПоЭто позволяет более объективно контролировать состояние вакуума в готовых дио дах по сравнению с известным устройством, что способствует повышению их качества. Формула изобретения 1, Устройство для измерения давления в двухэлектродном электровакуумном приборе с катодом и анодом, включающее генератор импульсов, схему регистрации среднего тока, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона измерений в сторону низких давлений в диоде, оно содержит генератор гармонического напряжения, выход которого подключен к аноду прибора, а вход - к выходу генератора импульсов, схему контроля скважности импульсов, вход которой подключен к выходу генератора гармонического напряжения. 5 2.Устройство по п. 1, о т п и чающееся тем, что вход схем регистрации среднего тока подключен выкоду схемы контроля скважности им сов, 3.Устройство по п. 1, о т п и чающееся тем, что, вход схем регистарции среднего тока подключен катоду электровакуумного прибора. 776 Источники ин(}юрмации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР . 518663, кл. в 01 U 21/30, 1976. 2.Коротченко В. А. и др. Метод контроля давления остаточньгх газов в отпаянных диодах. Электронная техника, серия 4, вып. 4, 1975 г. с. 82-87 (прототип).