Способ получения бессеребряных изображений Советский патент 1980 года по МПК G03C1/72 

1

Изобретение относится к способам получения бессеребряных изображений на слоях элементарного мышьяка и может быть использовано при записи информации в микроэлектронике, ра- 5 диологии, фотографии и других областях техники, где требуется минимальное время между экспонированием светочувствительного материала и получением готового стабильного изоб- Ю ражения.

Известен способ получения бессеребряных изображений путем нанесения на подложку из раствора слоя диэлектрической аллотропной модификации t5 мышьяка и экспонирования. В результате экспонирования на освещенных участках слоя происходит фазовый переход аллотропной модификации мьииьяка в полупроводниковую и образование 20 изображения 1 .

Недостатком этого способа является малая разрешающая способность полученного изображения.

Наиболее близким к предлагаемому 25 является способ получения бессеребряных изображений путем нанесения на подложку из раствора слоя диэлек рической аллотропной модификации мышьяка, удаления растворителя, экс- 30

понирования и фиксирования полученного изображения сероуглеродом или бензолом 2 .

Недостатком указанного способа является то, что полученные им изображения облсщают неудовлетворительно низкой разрешающей способностью и высокой плотностью вуали.

Цель изобретения - повышение разрешающей способности и снижение плотности вуали изображения.

Поставленная цель достигается тем, что в способе получения бессеребряных изображений путем нанесения на подложку слоя диэлектрической аллотропной модификации мышьяка, экспонирования и фиксирования, операцию нанесения слоя мышьяка проводят вакуумным напылением при температуре подложки - (80-бО)°С, а фиксирование - нагреванием слоя до 3545С со скоростью 5-110°С/мин.

Пример. Стеклянную подложку охлаждают в вакууме порядка 10 торр цо температуЕИ. - (80-бО)с. На подложку напыляют слой диэлектрической аллотропной модификации мышьяка при температуре испарителя около 300 С в течение 1,5-2,5 мин. На полученный чувствительный слой проецируют изоб ражение и производят экспозицию около 2-10 Дж/см2. Подложку с пвлуч«,н ным на чувствительном слое изображё- нием нагревают до 35-45°С 1 мин. По лученное изображение стабильно и может/храниться неограниченно долго. В таблице представлена сравнительная характеристика образцов мате риала, полученного и обработанного согласно предложенному и известному способу. Оценку величины вуали проводят следующим образом. Для известного (за который взят способ получения изображений на не1. V 4 4 -:// носителях) параметр вуали ова1| ий выбирают в виде {1-А), гДе А альбедо вуали. Для предложенного способа, где изображение получают на прозрачном носителе, параметр вуалирования выбирают в виде (1-Т) , где Т - оптическое пропускание вуали. Соотношение (1-Т) или (1-А) характеризует изменение вуали при получении изображения по предложенному и известному способу. Предлагаемый способ позволяет понизить плотность вуали и значительно повысить разрешающую способность изображения.

Известный