опавшего с сосуда 4 криоосадка на экран 3, что может привести к повышению давления в вакуумной камере.
Формула изобретения
Криогенный вакуумный насос, содержаш,ий корпус с размеш,енным в нем внутри охлаждаемых цилиндрического.и жалюзийного экранов откачиваюш,им элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного
хладагентом, отличаюш,ийся тем, что,с целью повышения экономичности при расположении насоса вблизи источников высокочастотного излучения, между жалюзийным экраном и сосудом установлена металлическая сетка, соединенная с цилиндрическим экраном через тепловой мост.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 392268, кл. F 04В 37/08, 1971.

| название | год | авторы | номер документа | 
|---|---|---|---|
| Криогенный вакуумный насос | 1988 | 
 | SU1553759A1 | 
| Криогенный вакуумный насос | 1979 | 
 | SU883550A2 | 
| Криогенный вакуумный насос | 1979 | 
 | SU824710A1 | 
| Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия | 1976 | 
 | SU663880A2 | 
| Охлаждаемая сорбционная ловушка | 1974 | 
 | SU590479A1 | 
| Криогенный вакуумный насос | 1981 | 
 | SU954602A1 | 
| Криосорбционный насос | 1984 | 
 | SU1156446A1 | 
| Криогенный конденсационный насос | 1981 | 
 | SU992813A2 | 
| Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия | 1976 | 
 | SU620658A1 | 
| Устройство для высокочастотного нагрева плазмы | 1980 | 
 | SU824785A2 | 
 
		
         
         
             
            
               
            
Авторы
Даты
1980-10-07—Публикация
1978-07-31—Подача