опавшего с сосуда 4 криоосадка на экран 3, что может привести к повышению давления в вакуумной камере.
Формула изобретения
Криогенный вакуумный насос, содержаш,ий корпус с размеш,енным в нем внутри охлаждаемых цилиндрического.и жалюзийного экранов откачиваюш,им элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного
хладагентом, отличаюш,ийся тем, что,с целью повышения экономичности при расположении насоса вблизи источников высокочастотного излучения, между жалюзийным экраном и сосудом установлена металлическая сетка, соединенная с цилиндрическим экраном через тепловой мост.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 392268, кл. F 04В 37/08, 1971.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Криогенный вакуумный насос | 1988 |
|
SU1553759A1 |
Криогенный вакуумный насос | 1979 |
|
SU883550A2 |
Криогенный вакуумный насос | 1979 |
|
SU824710A1 |
Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия | 1976 |
|
SU663880A2 |
Охлаждаемая сорбционная ловушка | 1974 |
|
SU590479A1 |
Криогенный вакуумный насос | 1981 |
|
SU954602A1 |
Криосорбционный насос | 1984 |
|
SU1156446A1 |
Криогенный конденсационный насос | 1981 |
|
SU992813A2 |
Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия | 1976 |
|
SU620658A1 |
Устройство для высокочастотного нагрева плазмы | 1980 |
|
SU824785A2 |
Авторы
Даты
1980-10-07—Публикация
1978-07-31—Подача