Криогенный вакуумный насос Советский патент 1990 года по МПК F04B37/08 

4ШШ

УШШ

УШШ

ШУ//Л

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность при работе насоса вблизи источников высокочастотного излучения. Сосуд 4 с хладагентом расположен внутри охлаждаемых цилиндрического и жалюзийного экранов 2 и 3, причем жалюзийный экран 3 снабжен поперечными металлическими перегородками 5, расположенными между соседними жалюзи и образующими с ними ячейки, наибольшая сторона которых не превышает 0,25 длины волны излучения. В результате жалюзийный экран 3 является непрозрачным для высокочастотного излучения, что обеспечивает защиту сосуда 4 от дополнительной тепловой нагрузки. 2 ил.

щ

5

/ J

Фиг.1

Фиг.1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям крионасосов.

Цель изобретения - повышение экономичности при работе насоса вблизи источников высокочастотного излучения.

На фиг. 1 представлена схема насоса; на фиг. 2 - часть жалюзийного экрана в увеличенном масштабе.

Криогенный вакуумный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем внутри охлаждаемых цилиндрического и жалюзийного экранов 2 и 3 откачивающим элементом в виде заполненного хладагентом сосуда 4, причем жалюзийный экран 3 снабжен металлическими поперечными перегородками 5, расположенными между соседними жалюзи и образующими с ними ячейки, наибольшая сторона которых не превышает 0,25 длины волны излучения. .

Насос работает следующим образом.

При охлажденных экранах 2 и 3 в сосуд 4 подается хладагент и на поверхности сосуда 4 происходит конденсация поступающего в насос и далее через жалюзийный экран 3 газа. Попадающий в насос тепловой поток поглощается цилиндрическим и жалюзийным экранами 2 и 3. Поток высокочастотшЖЖл

I

5

ного излучения, взаимодействуя с жа- люэийным экраном 3, имеющим благодаря перегородкам 5 ячеистую структуру, отражается от поверхности экрана J, поскольку при размерах ячейки, меньших 0,25 длины волны излучения, экран 3 становится непрозрачным для этого излучения.

Таким образом, наличие перегоро- цок 5 обеспечивает защиту сосуда 4 от высокочастотного излучения и тем самым снижает тепловую нагрузку на конденсирующую поверхность. В результате повышается экономичность насоса вследствие снижения расхода хладагента на испаряемость.

Формула изобретения

Криогенный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем внутри охлаждаемьрс цилиндрического и жалюзийного экранов откачивающим

элементом в виде заполненного хладагентом сосуда, отличающий- с я тем, что, с целью повышения экономичности при работе насоса вблизи источников высокочастотного излучения,

жалюзийный экран снабжен поперечными металлическими перегородками, расположенными между соседними жалюзи.

±-5- /

/

/ИТШГя

Жл

7

7